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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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MEMS加速度計有什么優(yōu)勢

MEMS是指可批量制作的，將微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。用M...

2020-04-16 標簽：傳感器 mems 加速度計 1202 0

互聯(lián)網(wǎng)時代 MEMS的前世今生

二十年前，MEMS在整個IC市場上可能被視為一種另類的利基應用。現(xiàn)在則已大相徑庭。2017年，MEMS、傳感器和致動器(actuator)占全球芯片銷售...

2020-04-16 標簽：傳感器 IC mems 987 0

高縱橫比MEMS制造技術的4種方法

深度反應離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。這項技術可以在硅基板上執(zhí)行非常高的縱橫比蝕刻。蝕刻的孔的側壁幾乎是垂直的，...

2020-04-12 標簽：mems 晶片 3136 0

MEMS加速度計在發(fā)射系統(tǒng)中的作用分析

MEMS加速度計在發(fā)射系統(tǒng)中的作用單聯(lián)裝導彈發(fā)射裝置是指在一座發(fā)射架上，只能裝載(裝填)和發(fā)射一枚導彈的發(fā)射裝置。早期的導彈發(fā)射裝置大多采用單聯(lián)裝方式...

2020-06-08 標簽：mems 加速度計 701 0

MEMS加速度計有哪些類型，工作原理是什么

MEMS加速度計有哪些類型？ MEMS加速度計以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎，將電子原件和機械原件集成在一塊芯片上，具有體積小、質量輕、成本低、能...

2020-06-08 標簽：芯片 mems 加速度計 2236 0

MEMS加速度計的運用現(xiàn)狀及應用前景分析

MEMS加速度計的運用現(xiàn)狀：（1）MEMS傳感器在汽車產業(yè)中的應用（2）MEMS運動傳感器在移動電話中的應用（3）光標或游戲機控制（4）慣性導航...

2020-06-08 標簽：傳感器 mems 加速度計 1419 0

MEMS加速度計一般的應用場景是什么

通過測量由于重力引起的加速度，你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度，你可以分析出設備移動的方式?，F(xiàn)在工程師們已經想出了很多方法獲得...

2020-06-08 標簽：mems 加速度計加速度 1118 0

MEMS加速度計可有效提升工業(yè)應用的精度

MEMS加速度計來提升工業(yè)應用精度現(xiàn)如今汽車安全系統(tǒng)推動了MEMS慣性傳感器技術的發(fā)展。大批與汽車安全系統(tǒng)相關的應用促進了對MEMS制造技術，封裝概念...

2020-06-08 標簽：傳感器 mems 工業(yè)制造 489 0

MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的區(qū)別是什么

MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的區(qū)別 1、MEMS陀螺儀測角速度的 2、MEMS加速度是測線性加速度的 MEMS陀螺儀MEMS陀螺儀利用科里奧利力旋轉...

2020-06-08 標簽：mems 陀螺儀壓電效應 1932 0

MEMS電容式加速度計的工作原理是怎么樣的

MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域，與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適...

2020-06-08 標簽：傳感器 mems 微機電系統(tǒng) 3096 0

MEMS加速度計在尋北儀中的應用

MEMS加速度計在尋北儀中的應用高精度尋北儀是一款由高精度雙軸動力調諧陀螺通過測量地球自轉角速度，自主確定所附載體的真北方向值，不受外界磁場或其他環(huán)境...

2020-04-16 標簽：mems 陀螺尋北儀加速度計 1897 1

MEMS加速度計在發(fā)射系統(tǒng)中的作用

2020-04-16 標簽：mems 發(fā)射系統(tǒng)加速度計 739 0

MEMS加速度計在機器人的應用

MEMS加速度計在機器人的應用隨著科技的發(fā)展人們社會中的各類智能機器也越來越多，這里對機器人的運動簡單介紹。機器人運動主要靠三軸傾角傳感器進行的運動...

2020-04-16 標簽：機器人 mems MEMS加速度計 1280 0

MEMS加速度計在慣導中的作用

MEMS加速度計在慣導中的作用慣性導航系統(tǒng)有如下優(yōu)點： 1、由于它是不依賴于任何外部信息，也不向外部輻射能量的自主式系統(tǒng)，故隱蔽性好，也不受外界電磁干...

2020-04-16 標簽：mems 加速度計慣性導航系統(tǒng) 1368 0

MEMS加速度計在慣導中的角色

MEMS加速度計在慣導中的角色慣性導航系統(tǒng)（INS）也稱作慣性參考系統(tǒng)，是一種不依賴于外部信息、也不向外部輻射能量（如無線電導航那樣）的自主式導航系統(tǒng)...

2020-04-16 標簽：mems 加速度計慣導系統(tǒng) 746 0

MEMS加速度計有哪些類型？

2020-04-16 標簽：集成電路 mems 加速度計 2268 0

MEMS加速度計一般用在哪里？

MEMS加速度計一般用在哪里？通過測量由于重力引起的加速度，你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度，你可以分析出設備移動的方式。現(xiàn)...

2020-04-16 標簽：筆記本 mems 加速度計 831 0

MEMS加速度計來提升工業(yè)應用精度

2020-04-16 標簽：傳感器 mems 加速度計 607 0

MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的區(qū)別

MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的區(qū)別 1、MEMS陀螺儀測角速度的 2、MEMS加速度是測線性加速度的 MEMS陀螺儀MEMS陀螺儀利用科里奧利力旋轉...

2020-04-16 標簽：mems 陀螺儀加速度計 2752 0

MEMS加速度計在短程制導的位置

MEMS加速度計在短程制導的位置短程彈道導彈屬于地地戰(zhàn)術導彈范疇，射程一般在1000公里以下，可攜帶核彈頭或常規(guī)彈頭，主要用于攻擊地面炮兵射程之外敵戰(zhàn)...

2020-04-16 標簽：mems 加速度計制導 588 0

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