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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS電容式加速度傳感器(簡(jiǎn)介) MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域,與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、...
2020-04-16 標(biāo)簽:mems電容式微機(jī)電系統(tǒng) 7615 0
關(guān)于MEMS傳感器6大種類的簡(jiǎn)單介紹
MEMS傳感器的6大種類簡(jiǎn)介 以下直接介紹MEMS傳感器的幾個(gè)類型及工作原理介紹,MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前...
2020-06-01 標(biāo)簽:傳感器mems微電子技術(shù) 4718 0
MEMS傳感器的六類簡(jiǎn)介 以下直接介紹MEMS傳感器的幾個(gè)類型及工作原理介紹,MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研...
2020-04-16 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 2322 0
mems加速度計(jì)的性能解答 線性度 線性度主要是為了使加速度計(jì)有較好的線性輸出,即MEMS芯片輸出的電壓值(模擬或數(shù)字)與芯片受到的加速度值成正比。而事...
mems加速度計(jì)的性能解答 線性度 線性度主要是為了使加速度計(jì)有較好的線性輸出,即MEMS芯片輸出的電壓值(模擬或數(shù)字)與芯片受到的加速度值成正比。而事...
MEMS在戰(zhàn)術(shù)武器應(yīng)注意的要點(diǎn)
隨著MEMS陀螺儀在戰(zhàn)術(shù)武器中的應(yīng)用,研制過(guò)程中暴露出許多問題。為提高戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈的研制質(zhì)量,向部隊(duì)提供性能先進(jìn)、質(zhì)量?jī)?yōu)良的武器裝備,MEMS陀螺儀需要解決...
MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)是個(gè)好年景,且這種增長(zhǎng)趨勢(shì)會(huì)持續(xù)下去。預(yù)測(cè)所有固態(tài)傳感器和執(zhí)行器市場(chǎng)將實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁增長(zhǎng),到2023年達(dá)到千億美元級(jí),出貨量達(dá)1850...
多樣化應(yīng)用帶動(dòng)MEMS市場(chǎng)發(fā)展
MEMS器件最早的批量實(shí)際應(yīng)用源于汽車電子產(chǎn)業(yè),但隨著近年來(lái)消費(fèi)電子領(lǐng)域的創(chuàng)新不斷涌現(xiàn),消費(fèi)電子已經(jīng)成為MEMS最大的應(yīng)用市場(chǎng),市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)了15億美元...
合肥微納MEMS紅外溫度傳感器芯片性能指標(biāo)精度達(dá)到0.1℃ 日產(chǎn)量將提升至日產(chǎn)10萬(wàn)顆以上
據(jù)合肥高新集團(tuán)報(bào)道,合肥微納傳感技術(shù)有限公司通過(guò)科研攻關(guān),自主研發(fā)MEMS紅外溫度傳感器芯片。該芯片可以完成進(jìn)口替代,是疫情防控利器額溫槍的核心部件。
雖然大部分人對(duì)于MEMS(Microelectromechanical systems, 微機(jī)電系統(tǒng)/微機(jī)械/微系統(tǒng))還是感到很陌生,但是其實(shí)MEMS在...
2020-04-10 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 2538 0
MEMS在消費(fèi)市場(chǎng)上面臨的三大挑戰(zhàn)
第一個(gè)挑戰(zhàn)是智能手機(jī)MEMS市場(chǎng)蕭條,而競(jìng)爭(zhēng)依然非常激烈。時(shí)至今日,MEMS最大的市場(chǎng)仍然是智能手機(jī)市場(chǎng)。但現(xiàn)在,該市場(chǎng)的增長(zhǎng)已經(jīng)進(jìn)入停滯階段。然而,由...
在汽車電子控制系統(tǒng)的快速增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求下,汽車傳感器技術(shù)不斷發(fā)展。未來(lái)汽車傳感器的發(fā)展總體趨勢(shì)是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工藝制成的...
本文介紹了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)的多項(xiàng)特性,它們使得該技術(shù)對(duì)狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用極具吸引力。本文通過(guò)回顧一些數(shù)據(jù)來(lái)說(shuō)明MEMS技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r及性能水平,...
2020-04-09 標(biāo)簽:memsMEMS加速度計(jì)PZT 1843 1
物聯(lián)網(wǎng)為MEMS市場(chǎng)創(chuàng)造巨大需求
目前全球MEMS市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)逼近150億美元,隨著MEMS在可穿戴設(shè)備、VR/AR等消費(fèi)類產(chǎn)品中應(yīng)用滲透率高速增長(zhǎng)的影響,美國(guó)MEMS市場(chǎng)實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)增長(zhǎng);...
2020-04-09 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 436 0
MEMS技術(shù)在智慧農(nóng)業(yè)中的應(yīng)用
農(nóng)業(yè)應(yīng)用所需的測(cè)量和傳感大部分依靠微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。MEMS將機(jī)械結(jié)構(gòu)與電子相結(jié)合,制造出智慧農(nóng)業(yè)傳感器、控制器和能量收集器。這些智能傳感系統(tǒng)具有...
全球音頻市場(chǎng)持續(xù)成長(zhǎng),由于語(yǔ)音VPA要求更高的信噪比(SNR),才能在吵雜的環(huán)境中準(zhǔn)確獲取人聲,麥克風(fēng)因此迎來(lái)市場(chǎng)新商機(jī)。
MEMS系統(tǒng)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中有著很重要的應(yīng)用,隨著智能產(chǎn)品的推進(jìn),MEMS在智能化上也有自己的優(yōu)勢(shì),隨著海量的定位需求增加,衛(wèi)導(dǎo)離不開慣導(dǎo),
MEMS是當(dāng)代國(guó)際矚日的重大科技探索前沿陣地之一,新研發(fā)的MEMS樣品不斷被披露出來(lái),從敏感MEMS拓展到全光通信用光MEMS、移動(dòng)通信前端的RF-ME...
MEMS技術(shù)是一門相當(dāng)?shù)湫偷亩鄬W(xué)科交叉滲透、綜合性強(qiáng)、時(shí)尚前沿的研發(fā)領(lǐng)域,幾乎涉及到所有自然及工程學(xué)科內(nèi)容,以單晶硅Si、Si02、SiN、SOI等為主...
Mems技術(shù)國(guó)內(nèi)外究竟有哪些差距
一、美國(guó)專利數(shù)量遠(yuǎn)多于中國(guó)專利,國(guó)外技術(shù)研發(fā)水平大幅領(lǐng)先。經(jīng)過(guò)對(duì)比可知,硅基MEMS制造技術(shù)領(lǐng)域美國(guó)專利數(shù)量遠(yuǎn)多于中國(guó)。其中,美國(guó)授權(quán)專利數(shù)量達(dá)4411...
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