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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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物聯(lián)網(wǎng)的大時代,我們該如何抓住MEMS(微機電系統(tǒng))浪潮
一說到芯片,就是橫在我們心頭的一根尖刺!雖說國家已經(jīng)在大力扶持芯片產(chǎn)業(yè),但是與美歐在芯片的長期深耕相比,我們還有很大的鴻溝等待跨越!
2020-03-20 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng) 2632 0
東京三菱電機宣布開發(fā)出一種緊湊型激光雷達(dá)解決方案 期望實現(xiàn)安全可靠的自動駕駛
東京三菱電機公司于3月12日宣布開發(fā)出一種緊湊型激光雷達(dá)解決方案。該方案結(jié)合了微電子機械系統(tǒng)(MEMS),實現(xiàn)了超寬的水平掃描角度,可以準(zhǔn)確探測自動駕駛...
近日,電子通信大學(xué)的Oshita Masaaki和Kan Tetsuo及其合作者已經(jīng)在MEMS(微機電系統(tǒng))可變形懸臂上開發(fā)了金衍射光柵型等離激元光電探測器。
國產(chǎn)MEMS傳感器芯片性能指標(biāo)精度達(dá)到0.1℃,4月初可大量投放市場
高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸測溫工具是當(dāng)前對大規(guī)模人員進行發(fā)熱篩查的主要工具之一,而其核心部件MEMS紅外溫度傳感器長期主要依賴進口。近日,中國兵器工業(yè)...
在AI、物聯(lián)網(wǎng)等新技術(shù)推動下 傳感器助力企業(yè)向數(shù)字化轉(zhuǎn)型升級
3 月 12 日訊,在數(shù)字經(jīng)濟大環(huán)境下,隨數(shù)字化、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新技術(shù)推動,全球迎來了 2020 年數(shù)字之年,如何踏上數(shù)字化道路是每家企業(yè)都必須思考...
美新半導(dǎo)體傳感器項目落地 不斷擴充和豐富產(chǎn)品線
3 月 11 日訊,今年 1-2 月,天津港保稅區(qū)共引進項目 186 個,努力實現(xiàn)疫情防控和經(jīng)濟發(fā)展“雙勝雙贏”。據(jù)悉,全球第二大 MEMS 廠商美新半...
2020-03-12 標(biāo)簽:傳感器mems美新半導(dǎo)體 841 0
隨著光通信網(wǎng)絡(luò)的快速發(fā)展,傳統(tǒng)以電為核心的通信器件已經(jīng)不能滿足高速大容量的光通信需求,MEMS光開關(guān)由于其體積小,易集成,容量大等特點,已成為全光通信網(wǎng)...
2020-03-24 標(biāo)簽:mems控制電路光通信網(wǎng)絡(luò) 9774 0
在政府的支持下 國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展已經(jīng)全面升溫
傳感器技術(shù)作為信息技術(shù)的三大基礎(chǔ)之一,是當(dāng)前各國競相發(fā)展的高新技術(shù),世界各國普遍重視和投入開發(fā)。近年來,全球傳感器市場一直保持快速增長,隨著經(jīng)濟環(huán)境的持...
Mems加速度計對于溫度測量是準(zhǔn)確 Mems加速度計理論上可以測量小于1的傾斜,但是在溫度變化及振 動條件下是否仍然可以實現(xiàn)這樣的測量精度? 關(guān)于明確傾...
通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。 通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動的方式?,F(xiàn)在工程師們已經(jīng)想出了很多方法獲...
2020-03-06 標(biāo)簽:mems加速度計重力感應(yīng) 664 0
MEMS加速度計的三種類型簡介 隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,慣性傳感器目前是最為成功應(yīng)用最廣泛的微機電系統(tǒng)器件之一。而MEMS加速度計就是慣性傳感器件的杰出...
MEMS加速度計芯片的應(yīng)用環(huán)境 通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。 通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動的方式。...
一 MEMS加速度計所用的材料 例如用于做襯底的襯底材料,用于做掩膜的掩膜材料,用于表面微加工的犧牲層材料等等。Mems加速度計常用的材料有單晶硅、二氧...
MEMS慣性傳感器的發(fā)展方向 MEMS加速度計是MEMS領(lǐng)域最早開始研究的傳感器之一。經(jīng)過多年的發(fā)展MEMS加速度計的設(shè)計和加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。 目前...
國內(nèi)最小MEMS溫濕度傳感器 在尺寸與智能方面建立了新的標(biāo)準(zhǔn)
創(chuàng)立于2003年9月的廣州奧松電子有限公司為國內(nèi)濕度傳感器自主研發(fā)企業(yè),是目前國內(nèi)先進的應(yīng)用MEMS工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器及芯片的制造商,也是廣東省MEMS...
近日,據(jù)Fact.MR的一項新研究表示,到2027年,全球MEMS傳感器市場將以9%的復(fù)合年增長率增長,達(dá)到500億美元。
腐蝕是硅微機械加工的最主要的技術(shù) ,各種硅 微機械幾乎都要用腐蝕成型。腐蝕法分濕法腐蝕和 干法腐蝕兩大類 ,濕法腐蝕又分為溶液法及陽極法 , 干法腐蝕分...
MEMS,微機電系統(tǒng),是1959年12月由理查德·費曼最早提出的概念,是將微觀模擬機械元件機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、...
微機電設(shè)備的尺寸通常在20微米到一毫米之間,它們內(nèi)部通常包含一個微處理器和若干獲取外界信息的微型傳感器。
2020-03-07 標(biāo)簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 7148 0
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