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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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據(jù)報道,日本TDK公司宣布在全球范圍內立即推出基于子公司Chirp Microsystems的CH-101 MEMS芯片的超聲波飛行時間(ToF)傳感器...
中芯紹興項目主體工程結頂 投產后可實現(xiàn)年產值45億元
中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試生產基地項目主體工程結頂儀式今天上午舉行
兼具MEMS和光子傳感器優(yōu)勢 應對苛刻應用的微光機械(MOMS)技術
2017年底,歐洲微電子研究中心(imec)推出了基于MOMS(微型光機械系統(tǒng))技術的壓力傳感器。本質上來說它是一種將膜片(微米級)的機械運動轉換為光學...
據(jù)報道,為高速通信網(wǎng)絡基礎設施和尖端防御系統(tǒng)提供先進混合信號光學產品的全球領先供應商安科(EMCORE)(納斯達克股票代碼:EMKR),近日宣布從Res...
近日,CES Asia 2019(2019亞洲消費電子展)在上海新國際博覽中心隆重舉辦。由臺灣創(chuàng)業(yè)公司OPUS Microsystems Corp.(以...
Bourns BPS140壓力傳感器 提供高靈敏度/準確度和長期可靠性
BPS140系列極其堅固,其結構即使在高溫下也能夠處理高壓范圍(15至500 PSI)。
Innovative Micro Technology, Inc.日前正式宣布:公司現(xiàn)已可提供8英寸(200mm)晶圓微電子機械系統(tǒng)(MEMS)工藝加工...
工業(yè)級及汽車級MEMS技術是相對消費級器件而言的,前者成本更高,但遠低于傳統(tǒng)光纖或環(huán)形激光陀螺儀技術。
2014年以來,我國政府出臺了《國家集成電路產業(yè)發(fā)展推進綱要》、《中國制造2025》、《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》、《國務院關于積極推進“物聯(lián)網(wǎng)+”行...
2019-06-06 標簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 4387 0
Silicon Sensing Systems擴大MEMS代工產能,積極布局PZT薄膜業(yè)務
Silicon Sensing Systems將擴大其在日本的MEMS代工廠規(guī)模,新增的廠房設施。
IC Insights:創(chuàng)下147億美元銷售新高的傳感器和制動器市場將降溫
Insights預測,2019年的銷售增長為5%,達到創(chuàng)紀錄的154億美元新高。但全球經濟疲軟,2020年增長放緩至3%或以下,傳感器/制動器銷售增長勢...
2019年中國MEMS傳感器市場分析和國內MEMS優(yōu)秀企業(yè)資料說明
日前,在中國電子信息產業(yè)發(fā)展研究院的指導和支持下,2019世界半導體大會IOT與傳感器創(chuàng)新分論壇在南京國際博覽中心順利召開。該論壇由賽迪顧問股份有限公司...
。中國MEMS消費電子類產品,如智能手機、平板電腦等產量保持穩(wěn)定增長,帶動加速傳感器、陀螺儀、硅麥克風等MEMS行業(yè)需求的增長,中國已經成為全球MEMS...
北京大學微納電子學系高成臣教授課題組依托MEMS工藝平臺,經過6年的持續(xù)研究,在國內首次研制出了高性能的熱式聲粒子振速傳感器,并完成了聲粒子振速傳感器與...
國內完成了MEMS空氣聲矢量傳感器的研制,并可實現(xiàn)小批量生產
據(jù)麥姆斯咨詢報道,北京大學微納電子學系高成臣教授課題組依托MEMS工藝平臺,經過6年的持續(xù)研究,在國內首次研制出了高性能的熱式聲粒子振速傳感器,并完成了...
MEMS慣性導航技術具有小型化、低成本等優(yōu)勢,在過去數(shù)十年內得到了迅速發(fā)展,在無人系統(tǒng)領域內得到了越來越多的應用,其作為未來慣性導航的主要發(fā)展方向,正在...
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