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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS慣性傳感器的簡(jiǎn)介及其在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用立即下載
2017-11-29 標(biāo)簽:控制系統(tǒng)mems慣性傳感器 1237 0
2017-11-27 標(biāo)簽:mems電控系統(tǒng) 1047 0
撬動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)的神器MEMS傳感器解析立即下載
2017-11-22 標(biāo)簽:mems陀螺儀物聯(lián)網(wǎng) 629 0
實(shí)現(xiàn)眼動(dòng)追蹤,索尼有MEMS這個(gè)高招立即下載
2017-11-22 標(biāo)簽:mems索尼眼動(dòng)追蹤 1109 0
2017-11-17 標(biāo)簽:memsRFbp神經(jīng)網(wǎng)絡(luò) 1163 0
微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)及硅在KOH中各向異性腐蝕的物理模型立即下載
2017-11-07 標(biāo)簽:mems 1268 0
RF MEMS技術(shù)的雷達(dá)系統(tǒng)的解析立即下載
2017-11-07 標(biāo)簽:memsRF雷達(dá)系統(tǒng) 872 0
2017-11-05 標(biāo)簽:MEMS 1158 0
MEMS技術(shù)等三種光開關(guān)矩陣技術(shù)的介紹及其性能分析立即下載
2017-10-30 標(biāo)簽:mems開關(guān)矩陣 1537 0
基于ARM-Linux的微慣性單元數(shù)據(jù)采集方案立即下載
2017-10-29 標(biāo)簽:memslinux數(shù)據(jù)采集 608 0
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