多晶硅生產(chǎn)污染物回收處理流程圖
高純多晶硅生產(chǎn)，工業(yè)上廣泛采用三氯氫硅還原法，也稱西門子法。三氯化硅在還原爐中生產(chǎn)多晶硅的同時會生成副產(chǎn)品污染物四氯化硅。四氯化硅完全可以回收利用，加氫氣可以還原為三氯氫硅，再進(jìn)一步作為原料加工成純硅，進(jìn)入生產(chǎn)循環(huán)，提高產(chǎn)率；另一方面，四氯化硅也可以可以制作為白炭黑，用于化工生產(chǎn)，此外，四氯化硅還可以溶于水生成二氧化硅和氯化氫，二氧化硅可以用于制造玻璃，氯化氫可以做工業(yè)原料。
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