多晶硅提純技術(shù)

包括西門子法（包括改良西門子法）、流化床法和冶金法（包括物理法）。國際上生產(chǎn)高純多晶硅的生產(chǎn)工藝仍以"改良西門子法一三氯氫硅氫還原法"為主(約占全球總產(chǎn)量的80%)。

多晶硅生產(chǎn)的西門子工藝，其原理就是在1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純?nèi)葰涔?，生成多晶硅沉積在硅芯上。

改良西門子法是在西門子法工藝基礎(chǔ)上，增加還原尾氣干法回收系統(tǒng)、SiCl4 氫化工藝，實現(xiàn)閉路循環(huán)，通過采用大型還原爐，降低了單位產(chǎn)品的能耗；采用SiCl4 氫化和尾氣干法回收工藝，明顯降低原輔材料的消耗，所生產(chǎn)的多晶硅占當(dāng)今世界生產(chǎn)總量的80%。
改良西門子法生產(chǎn)包括5 個主要環(huán)節(jié)，即SiHCl3 合成、SiHCl3 精餾提成、SiHCl3的氫還原、尾氣的回收以及SiCl4 的氫化等。

改良西門子法相對于傳統(tǒng)西門子法的優(yōu)點主要在于：
1）節(jié)能：
由于改良西門子法采用多對棒、大直徑還原爐，可有效降低還原爐消耗的電能；
2）降低物耗：改良西門子法對還原尾氣進行了有效的回收。
所謂還原尾氣：是指從還原爐中排放出來的，經(jīng)反應(yīng)后的混合氣體。
改良西門子法將尾氣中的各種組分全部進行回收利用，這樣就可以大大低降低原料的消耗。
3）減少污染：由于改良西門子法是一個閉路循環(huán)系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的各種物
料得到充分的利用，排出的廢料極少，相對傳統(tǒng)西門子法而言，污染得到了控制，保護了環(huán)境。