壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱(chēng)為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片（N型）定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對(duì)于膜片中心對(duì)稱(chēng)。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。
壓阻式壓力傳感器優(yōu)點(diǎn)：
1. 頻率響應(yīng)高，f0可達(dá)1.5M；
2. 體積小、耗電少；
3. 靈敏度高、精度好，可測(cè)量到0.1%的精確度；
4. 無(wú)運(yùn)動(dòng)部件（敏感元件與轉(zhuǎn)換元件一體）。
壓阻式壓力傳感器缺點(diǎn)：
1. 溫度特性差；
2. 工藝復(fù)雜。
壓力傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測(cè)量等各個(gè)領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力，局部壓力和整個(gè)壓力場(chǎng)的測(cè)量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如，用于測(cè)量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布，測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)等。
在飛機(jī)噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)中心壓力的測(cè)量中，使用專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的硅壓力傳感器，其工作溫度達(dá)500℃以上。在波音客機(jī)的大氣數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng)中采用了精度高達(dá)0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試驗(yàn)中，壓阻式傳感器能密集安裝在風(fēng)洞進(jìn)口處和發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣管道模型中。
單個(gè)傳感器直徑僅2.36毫米，固有頻率高達(dá)300千赫，非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫(yī)學(xué)方面，壓阻式傳感器也是理想的檢測(cè)工具。已制成擴(kuò)散硅膜薄到10微米，外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測(cè)量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球內(nèi)壓力的傳感器。是一種用于測(cè)量腦壓的傳感器的結(jié)構(gòu)圖。
壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測(cè)量、真空測(cè)量、監(jiān)測(cè)和控制汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測(cè)量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測(cè)量。此外，在油井壓力測(cè)量、隨鉆測(cè)向和測(cè)位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測(cè)以及流量和液位測(cè)量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式壓力傳感器。
壓阻式壓力傳感器靈敏度高，它的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變片高50~100倍;頻率響應(yīng)快，不僅能檢測(cè)靜態(tài)壓力，還能檢測(cè)動(dòng)態(tài)壓力（最高可達(dá)10kHz）;易于小型化和微型化，最小的傳感器可小至1.8mm，在生物學(xué)上可以測(cè)量血管內(nèi)壓和顱內(nèi)壓;測(cè)壓范圍很寬，可以低至10Pa的微壓（用于血壓測(cè)量）、高至60MPa的高壓;工作可靠，測(cè)量準(zhǔn)確度可達(dá)±（）.2%-±0.02%，高準(zhǔn)確度的產(chǎn)品可用于大型飛機(jī)大氣數(shù)據(jù)的壓力檢測(cè)或作為標(biāo)準(zhǔn)壓力計(jì)。目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于石油、化工、電氣等工業(yè)領(lǐng)域，是一種比較理想、發(fā)展迅速、正在逐漸成為市場(chǎng)主流的壓力傳感器。
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