位移測(cè)量是線位移測(cè)量和角位移測(cè)量的總稱(chēng)，位移測(cè)量在機(jī)電一體化制造系統(tǒng)中應(yīng)用十分廣泛。一般位移傳感器主要有：電感傳感器、電容傳感器、感應(yīng)同步器、光柵傳感器、磁柵傳感器、旋轉(zhuǎn)變壓器和光電編碼盤(pán)等。其中，旋轉(zhuǎn)變壓器和光電編碼盤(pán)只能測(cè)試角位移，其它幾種傳感器既有直線型位移傳感器又有角度型位移傳感器。

　　光柵位移傳感器

　　光柵是一種新型的位移檢測(cè)元件，是一種將機(jī)械位移或模擬量轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字脈沖的測(cè)量裝置。它的特點(diǎn)是測(cè)量精確度高（可達(dá)±1μm）、響應(yīng)速度快、量程范圍大、可進(jìn)行非接觸測(cè)量等。其易于實(shí)現(xiàn)數(shù)字測(cè)量和自動(dòng)控制，廣泛用于數(shù)控機(jī)床和精密測(cè)量中。

　　光柵的構(gòu)造

　　所謂光柵就是在透明的玻璃板上，均勻地刻出許多明暗相間的條紋，或在金屬鏡面上均勻地劃出許多間隔相等的條紋，通常線條的間隙和寬度是相等的。以透光的玻璃為載體的稱(chēng)為透射光柵，不透光的金屬為載體的稱(chēng)為反射光柵；根據(jù)光柵的外形可分為直線光柵和圓光柵。

　　光柵位移傳感器的結(jié)構(gòu)如圖所示。它主要由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光電器件和光源等組成。通常，標(biāo)尺光柵和被測(cè)物體相連，隨被測(cè)物體的直線位移而產(chǎn)生位移。一般標(biāo)尺光柵和指示光柵的刻線密度是相同的，而刻線之間的距離W稱(chēng)為柵距。光柵條紋密度一般為每毫米25、50、100、250條等。