金屬氧化物膜濕敏元件的結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)
Fe2O3、Fe3O4、Cr2O3、Al2O3、Mg2O3及ZnO、TiO2，等金屬氧化物的細(xì)粉，吸收水分后有極快的速干特性，利用這種特性可以研制生產(chǎn)出多種金屬氧化物膜濕敏元件。
金屬氧化物膜濕敏元件的一般結(jié)構(gòu)如圖所示。在陶瓷基片上先制作成鈕銀梳狀電極，然后采用絲網(wǎng)印刷、涂布或噴射等工藝方法，將調(diào)制好的糊狀金屬氧化物加工在陶瓷基片及電極上，采用燒結(jié)或烘干方法使之固化成膜。這種膜可以吸附或釋放水分子而改變其電阻值，通過(guò)測(cè)量電極間的電阻值即可檢測(cè)相對(duì)濕度。
金屬氧化物膜濕敏元件的特點(diǎn)是電阻的對(duì)數(shù)值與濕度呈線性關(guān)系，具有測(cè)試范圍寬、響應(yīng)速度快、濕滯小和工作溫度范圍寬的優(yōu)點(diǎn)，使用壽命大多在兩年以上。???
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