隨著信息社會的迅速發(fā)展，手機、電腦、電視等各種電子設(shè)備越來越“迷你”，從之前的“大哥大”到現(xiàn)在僅僅幾個硬幣厚的時尚手機，從老式的矮胖電視到如今輕薄的液晶電視，都不離開集成電路的發(fā)展，也就是我們平時所說的“芯片”。自從1958年世界上第一塊集成電路問世以來，它的體積越來越小，性能卻越來越強大。

而光刻機是半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中的最核心設(shè)備。以光刻機為代表的高端半導(dǎo)體裝備支撐著集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，芯片越做越小，集成的電路越來越多，能使終端變得小巧玲瓏。

2002年，光刻機被列入國家863重大科技攻關(guān)計劃，由科技部和上海市共同推動成立上海微電子裝備有限公司（下簡稱“SMEE”）來承擔(dān)，2008年國家又啟動了“02”科技重大專項予以銜接持續(xù)攻關(guān)。經(jīng)過十幾年潛心研發(fā)，我國已基本掌握了高端光刻機的集成技術(shù)，并部分掌握了核心部件的制造技術(shù)，成為集光機電等多學(xué)科尖端技術(shù)于一體的“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”。

微觀世界里“造房子”

浦東張江，SMEE總經(jīng)理賀榮明告訴記者，制造光刻機就是在微觀世界里“造房子”——光刻機是一個由幾萬個精密零件、幾百個執(zhí)行器傳感器、千萬行代碼組成的超復(fù)雜思維系統(tǒng)，它的內(nèi)部運動精度誤差不超過一根頭發(fā)絲的千分之一。打個比喻，就像坐在一架超音速飛行的飛機上，拿著線頭穿進(jìn)另一架飛機上的針孔。由于它技術(shù)的超高難度以及系統(tǒng)的復(fù)雜性，導(dǎo)致光刻機在全世界形成了超高的技術(shù)門檻。

據(jù)了解，以光刻機為代表的產(chǎn)品主要應(yīng)用于四大領(lǐng)域，芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、LED制造、下一代顯示屏制造。另外還有類光刻機產(chǎn)品，包括激光封裝、激光退火等設(shè)備，去年開始在試驗，今年逐步開始小批生產(chǎn)，未來為移動穿戴、智能時代提供產(chǎn)品。

“17年前，世界上只有少數(shù)國家能夠制造光刻機，且長期以來對中國實施技術(shù)限制。當(dāng)時，我們國家長期依賴進(jìn)口，這樣下去不利于國家的戰(zhàn)略安全和產(chǎn)業(yè)安全?！辟R榮明說到。

2002年，為實現(xiàn)“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想，賀榮明帶著幾位滿懷夢想的“戰(zhàn)友”來到張江，承擔(dān)起制造振興國家民族的微電子裝備產(chǎn)業(yè)，開始了艱難的光刻機研發(fā)之路。

然而，由于國內(nèi)的相關(guān)行業(yè)處于一片空白，無論是專業(yè)人員還是配套的零件供應(yīng)鏈，都讓賀榮明無從下手。在這樣的情況下，賀榮明深知，“唯一的出路就是走創(chuàng)新之路。”

為了使研制過程能始終處于良好的受控狀態(tài)，賀榮明一方面努力學(xué)習(xí)并借鑒世界上大型復(fù)雜工程項目的管理案例，始終不渝地堅持推進(jìn)用系統(tǒng)工程管理思想和方法來組織推進(jìn)光刻機項目實施，堅持用產(chǎn)品化、工程化思想來進(jìn)行產(chǎn)品研發(fā)。另一方面，他將創(chuàng)新視為企業(yè)的生命和永恒的“發(fā)動機”，結(jié)合研發(fā)項目開展創(chuàng)新實踐，有效運用創(chuàng)新方法體系解決了多項實際問題。

如今，通過十七年的“臥薪嘗膽”，SMEE已經(jīng)完全掌握了先進(jìn)封裝光刻機、高亮度LED光刻機等高端智能制造領(lǐng)域的先進(jìn)技術(shù)。

根據(jù)市場需求“沿途下蛋”

賀榮明告訴記者，高端光刻機開發(fā)的周期非常長，難度也非常高，如果在整個過程中只是走研發(fā)的道路，而不及時考慮產(chǎn)業(yè)化，那么對整個項目的開發(fā)、人才團隊的鼓勵都會帶來管理上的困難。SMEE的決策者們在決定以高端光刻機開發(fā)為主線的同時，每天都在考慮當(dāng)離高端產(chǎn)品的開發(fā)還有一定高峰要攀登的時候，在“半山腰”、在“山腳”下，能不能把已經(jīng)掌握或部分掌握的技術(shù)變成產(chǎn)品，去服務(wù)于行業(yè)?；谶@個思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產(chǎn)品。

賀榮明告訴記者，同樣是光刻機，它在前道的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用難度非常高，但是后道的先進(jìn)封裝對光刻機的應(yīng)用越來越廣泛，可以先行進(jìn)入，所以SMEE就抓住了這個契機，開發(fā)了一款適用于先進(jìn)封裝行業(yè)的光刻機。此前，這種光刻機完全依賴于進(jìn)口，而今SMEE 已經(jīng)占領(lǐng)了80%以上的國內(nèi)市場。據(jù)不完全統(tǒng)計，現(xiàn)在市場上高端智能手機上都有SMEE 自主研發(fā)的先進(jìn)封裝光刻機的功勞。這樣一來，產(chǎn)品的研發(fā)形成了一種階梯、波浪，“前面在不斷瞄準(zhǔn)高科技的發(fā)展，同時它不斷把掌握的技術(shù)輻射為具有應(yīng)用前景又能為國民經(jīng)濟、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供很好技術(shù)支撐的產(chǎn)品，這樣兩個目標(biāo)形成一種互動、良性循環(huán)。既通過高科技的研發(fā)來錘煉人才，又通過產(chǎn)品的市場化來打造工程性人才，這種人才的分合匯聚組合讓公司向兩維領(lǐng)域發(fā)展（一維是技術(shù)高度，一維是產(chǎn)業(yè)寬度），不讓公司變?yōu)榧兇獾难邪l(fā)機構(gòu)，同時也不讓公司太功利化。這兩者融合能為公司將來高端光刻機的發(fā)展提供良好的發(fā)展模式?！辟R榮明表示。

賀榮明直言，企業(yè)運營的最大壓力在于技術(shù)突破和人才團隊的聚焦與持續(xù)發(fā)展。由于我國技術(shù)基礎(chǔ)比較薄弱，不但要攻克技術(shù)上的難點，還要解決攻克過程中的管理問題。在供應(yīng)鏈的打造和高科技行業(yè)上受到國外的限制等，使得我國整個技術(shù)門類還不健全，整個資源鏈還不完善，現(xiàn)在一方面以自主創(chuàng)新為主，一方面用更寬泛的國際視野面向全球整合資源。“我國高速發(fā)展，吸引了全球高科技人才、組織對我們充滿期待，這樣迎來了利用國際資源解決自身瓶頸，使得SMEE在堅持自主創(chuàng)新的同時全球化、國際化?！?/p>

用中國人的光刻機造中國芯

經(jīng)過十幾年的發(fā)展，SMEE形成了一支逾1000人的年齡結(jié)構(gòu)合理、學(xué)科門類齊全、專業(yè)技術(shù)扎實的優(yōu)秀人才隊伍以及與產(chǎn)品化、產(chǎn)業(yè)化相適應(yīng)的經(jīng)營管理團隊。其中博士和碩士超過40%，團隊中擁有國家萬人計劃專家、國家中青年科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才、上海市科技領(lǐng)軍人才和上海市技術(shù)學(xué)科帶頭人等多人。已通過ISO27001信息安全、ISO9001質(zhì)量管理和ISO14001環(huán)境管理等體系的國際認(rèn)證，是國家級企業(yè)技術(shù)中心、國家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、上海市高新技術(shù)企業(yè)、“國家光刻設(shè)備工程技術(shù)研究中心”的依托單位、首批“上海品牌”認(rèn)證企業(yè)等。

從跟蹤國際專利到不斷掌握擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù)，SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品，實現(xiàn)了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想。截止2019年6月，公司專利申請總數(shù)共計3034項（授權(quán)1654項），其中國內(nèi)專利申請2351項（授權(quán)1460項），國外專利申請683項（授權(quán)248項）。這些專利滲透在各個產(chǎn)品之中，為高科技產(chǎn)品走向世界提供自主知識產(chǎn)權(quán)的法律保障。

談到這十七年來的生活，把SMEE當(dāng)做孩子一樣培養(yǎng)的賀榮明笑著說，“除了出差，每天早上7點出門，晚上10點回家，周六保證不休息，周日休息不保證，這就是我十幾年生活的全部?！?作為制造業(yè)皇冠上的明珠，光刻機的制造集光機電等高技術(shù)于一體，任何一個零部件的生產(chǎn)要求，都可能為一個配套產(chǎn)業(yè)帶來創(chuàng)新能級提升的機會。談到初心，賀榮明篤定地說：“我的夢想，是讓國際同行在談到我們時，增加一份對中國科技工作者的尊重。”