當前用于制作印制電路板微通孔的激光器有四種類型:CO2激光器、YAG激光器、準分子激光器和銅蒸氣激光器。CO2激光器典型地用于出產(chǎn)大約75μm的孔,但是因為光束會從銅面上反射歸來,所以它僅僅適合于除去電介質(zhì)。CO2激光器非常不亂、便宜,且不需維護。準分子激光器是出產(chǎn)高質(zhì)量、小直徑孔的最佳選擇,典型的孔徑值為小于10μm。這些類型最適適用于微型球柵陣列封裝( microBGA) 設(shè)備中聚酷亞膠基板的高密度陣列鉆孔。銅蒸氣激光器的發(fā)展尚在初期,然而在需要高出產(chǎn)率時仍具有上風(fēng)。銅蒸氣激光器能除去電介質(zhì)和銅,然而在出產(chǎn)過程中會帶來嚴峻題目,會使得氣流只能在受限的環(huán)境中出產(chǎn)產(chǎn)品。
在印制電路板產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用最普遍的激光器是調(diào)QNd: YAG激光器,其波長為355nm ,在紫外線范圍內(nèi)。這個波長可以在印制電路板鉆孔時使大多數(shù)金屬(Gu ,Ni ,Au ,Ag) 融化,其吸收率超過50% (Meier和Schmidt,2002),有機材料也能被融化。紫外線激光的光子能量可高達3.5-7.5eV,在融化過程中能夠使化學(xué)鍵斷裂,部門通過紫外線激光的光化學(xué)作用,部門通過光熱作用。這些機能使紫外線激光成為印制電路板產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的首選。
YAG激光系統(tǒng)有一個激光源,提供的能量密度(流量)超過4J/cm2,這個能量密度是鉆開微通孔表面銅循所必須的。有機材料的融化過程需要的能量密度大約只有100mJ/cm2,例如環(huán)氧樹脂和聚酷亞肢。為了在這樣寬的頻譜范圍準確操縱,需要非常正確和精密的控制激光能量。微通孔的鉆孔過程需要兩步,第一步用高能量密度激光打開銅箔,第二步用低能量密度激光除去電介質(zhì)。
激光的波長為355nm時,其典型的光點直徑大約為20μm。在脈沖時間小于140ns 時,激光的頻率在10-50kHz之間,這時的材料是不會產(chǎn)生熱量的。
通過計算機控制掃描器/反射系統(tǒng)定位激光束,通過焦闌透鏡聚焦,可以使得光束以準確的角度鉆孔。掃描過程通過軟件產(chǎn)生一個矢量模式,以補償材料和設(shè)計的偏差。掃描面積為55x55mm。這個系統(tǒng)與CAM軟件兼容,支持所有常用的數(shù)據(jù)格局。
激光系統(tǒng)是德國人Mis LPKF提出的,其機械設(shè)計的基座是將堅硬的花崗巖,其表面磨光精度不低于3μm。工作臺支座放置在氣體軸承上,由線性發(fā)念頭來控制。定位的正確性由玻璃標尺來控制,其可重復(fù)性確保在±1μm。工作臺本身安裝了光學(xué)傳感器,可以在不同的反射點對激光位置進行精確調(diào)整,補償光學(xué)變形和長期漂移的偏差。調(diào)整后,由軟件所產(chǎn)生的一系列修正數(shù)據(jù),可籠蓋整個掃描區(qū)域。漂移刻度補償大約需要lmin的時間進行操縱。基板的任何變化,例如位置偏離基準,可以通過高分辨率的CCD相機檢測到,通過軟件控制進行補償。
這種系統(tǒng)非常合用于原型的出產(chǎn),由于它能夠鉆孔和構(gòu)形,從柔性到剛性印制電路板均可使用,包括金屬聚合物,如阻焊劑、保護層、電介質(zhì)等。Raman等人先容了最提高前輩的固態(tài)紫外線激光系統(tǒng),以及其在高密度互連微通孔出產(chǎn)中的應(yīng)用。
Lange和Vollrath解釋了紫外線激光系統(tǒng)(微線鉆孔600系統(tǒng))在鉆孔、構(gòu)形和切割中的各種應(yīng)用。該系統(tǒng)可以鉆孔和微通孔,銅層孔徑減小到了30μm,并且對于一定范圍內(nèi)的基材能進行單步操縱,這種系統(tǒng)也能出產(chǎn)最小寬度為20μm的印制電路板外層導(dǎo)線,其出產(chǎn)能力大大超過了光化學(xué)。這種系統(tǒng)的出產(chǎn)速度可高達250鉆的操縱,并能夠答應(yīng)所有尺度輸入,例如Gerber和HPGL。它的操縱面積是640mmx560mm(25.2inx22in) ,最大的材料高度為50mm(2in),可合用于大部門常用基板。機器工作臺的基座和它的導(dǎo)軌都是用自然的花崗巖制作的,精確度為±3μm。工作臺由線性驅(qū)動器驅(qū)動,由空氣軸承支撐;位置由具有熱量補償?shù)牟A顺呖刂?,其精度為土iμm 。操縱臺上基板的安裝是通過真空設(shè)備完成的。
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