近日，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)透露，寧波南大光電目前已安裝完成第一條ArF（193nm）光刻膠生產(chǎn)線，該產(chǎn)線仍處于調(diào)試階段。目前，研發(fā)的產(chǎn)品正在測(cè)試、認(rèn)證過程中，尚未形成量產(chǎn)和銷售。

2019年7月，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)透露，公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進(jìn)“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”落地實(shí)施。

2019年10月，南大光電公告稱，公司與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽署了《投資協(xié)議書》，擬在寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資開發(fā)高端集成電路制造用各種先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規(guī)?；a(chǎn)能力，建立配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈。該項(xiàng)目計(jì)劃總投資6億元，預(yù)計(jì)總用地50畝。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)約10億元的年銷售額，年利稅預(yù)計(jì)約2億元。

資資料顯示，南大光電主要從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過承擔(dān)國家重大技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。目前，公司形成MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料等業(yè)務(wù)板塊。值得注意的是，2017年，南大光電還承擔(dān)了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”（以下簡稱193nm光刻膠項(xiàng)目）。

對(duì)于兩個(gè)光刻膠項(xiàng)目之間的聯(lián)系，南大光電此前在公告中強(qiáng)調(diào)，“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”與“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”系兩個(gè)獨(dú)立的項(xiàng)目。公司稱，投建新項(xiàng)目是為加大對(duì)先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料的建設(shè)。
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