壓電陶瓷具有高可靠性、高分辨率、高剛度、大出力等特點，是精密運動與定位的理想驅動元件。柔性鉸鏈機械結構具有運動平穩(wěn)、無摩擦、無空回、高精度等特點，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的精度運動與定位系統(tǒng)。

同時柔性鉸鏈機構還可以提供適當?shù)念A緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高系統(tǒng)的使用壽命。以下是一些壓電陶瓷驅動、柔性鉸鏈機構傳動相結合的典型例子。

高精密壓電納米定位臺

壓電納米定位臺采用壓電陶瓷驅動、柔性鉸鏈機構進行位移放大的解決方案，可實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點。位移行程最大可達1.1mm，分辨率可達納米級且具有不錯的可靠性。適用于干涉、顯微、精密加工等領域。

高精密機械加工

由壓電陶瓷元件、柔性鉸鏈機構和閉環(huán)傳感器組成的壓電微定位快刀伺服系統(tǒng)，利用其自身所具有的高剛度、高精度等特點，驅動刀具在運動方向快速微進給，實現(xiàn)工件或結構的精密加工。壓電快速刀具定位臺行程可達118μm，分辨率達納米級。

高精密壓電線夾

芯明天公司根據(jù)全自動引線鍵合機的要求，設計一款壓電引線線夾，通過柔性鉸鏈機構將壓電陶瓷的位移放大，使其能夠夾持金線進行自由穿行移動。該線夾位移可達70μm，響應時間在毫秒量級。

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