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P11系列壓電位移臺的類型、安裝與應(yīng)用場景分析

牽手一起夢 ? 來源:芯明天壓電納米運(yùn)動 ? 作者:佚名 ? 2020-04-20 16:28 ? 次閱讀
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P11系列壓電位移臺包含多種型號,1至3維運(yùn)動版本可選,行程由100μm至300μm可選。從外觀上,P11系列具有兩種外形,兩種外形的長寬相同,都為40×40mm,只因行程大小不同或維度不同,相應(yīng)的外形的高度有所差別,分22mm和36.5mm兩種。

P11系列壓電位移臺的單軸運(yùn)動版本,行程可高達(dá)300μm,二維或三維版本標(biāo)準(zhǔn)行程為100μm/軸。它是采用機(jī)構(gòu)放大的原理,將內(nèi)部壓電陶瓷驅(qū)動源產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大輸出,位移放大后,承載能力相應(yīng)減小,但P11三維版本的承載能力仍可達(dá)600g。

開/閉環(huán)版本

P11系列壓電位移臺也分為開環(huán)與閉環(huán)版本,相比之下,閉環(huán)版本內(nèi)部增配了閉環(huán)傳感器,用于檢測位移臺本身實(shí)際產(chǎn)生的位移量。從位移臺的引線連接器上可區(qū)分出開閉環(huán)。例如,對于標(biāo)準(zhǔn)的壓電位移臺,一般配備的是LEMO連接器,若位移臺的連接器具有兩種,如下圖所示,具有單芯和四芯兩種LEMO連接器,那么該壓電位移臺為閉環(huán)版本,若只有一種單芯LEMO連接器,則為開環(huán)版本。

此外,也可以根據(jù)單芯LEMO連接器的數(shù)量判斷壓電位移臺的運(yùn)動維度,1個為1個維度運(yùn)動,2個為2個運(yùn)動維度,依次類推。

以上該方法僅適用于LEMO連接器形式壓電位移臺開閉環(huán)的辨別方法。

P11系列壓電位移臺的類型、安裝與應(yīng)用場景分析

安裝固定

為了便于負(fù)載的機(jī)械連接,在P11的運(yùn)動臺面上設(shè)計(jì)有四個M3螺紋孔,為使用者提供固定接口。

P11系列壓電位移臺的類型、安裝與應(yīng)用場景分析

另外,在P11系列壓電位移臺的四個邊角,有四個?2.7mm的通孔,用于壓電位移臺的固定。

P11系列壓電位移臺的類型、安裝與應(yīng)用場景分析

在安裝使用中,務(wù)必保證壓電位移臺運(yùn)動面與非運(yùn)動基座間的間隙清潔,且不可在此間隙間放置任何阻礙位移臺運(yùn)動的薄片、膠液等,這些會導(dǎo)致壓電位移臺的位移量減少或不輸出。

P11系列壓電位移臺的類型、安裝與應(yīng)用場景分析

應(yīng)用

壓電位移臺的特點(diǎn)是納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應(yīng)速度、簡便的控制方式、低成本等,因此具有非常廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,如顯微成像、激光加工(晶圓切割)、微納車削加工、圖像分辨率增強(qiáng)、光學(xué)檢測移相器等快速微納致動應(yīng)用。

責(zé)任編輯:gt

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