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基于平行運(yùn)動學(xué)設(shè)計(jì)的N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡的結(jié)合和特點(diǎn)分析

牽手一起夢 ? 來源: 芯明天壓電納米運(yùn)動 ? 作者:佚名 ? 2020-09-02 15:17 ? 次閱讀
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N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡,是一款定制型壓電精瞄鏡,與其他壓電偏轉(zhuǎn)鏡不同的是,它具有方形的外形結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)使其更易于安裝固定。

特點(diǎn)

?θx、θy二維偏轉(zhuǎn) ?大角度偏轉(zhuǎn)達(dá)50mrad ?閉環(huán)分辨率達(dá)2μrad ?可選配閉環(huán)傳感器

結(jié)構(gòu)簡介

N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡(兩軸運(yùn)動)是基于平行運(yùn)動學(xué)設(shè)計(jì),具有共面軸及移動面。四個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)(PZT壓電陶瓷驅(qū)動器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供最高可實(shí)現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運(yùn)動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實(shí)現(xiàn),采用橋式連接電路控制。

基于平行運(yùn)動學(xué)設(shè)計(jì)的N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡的結(jié)合和特點(diǎn)分析

高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性

N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在經(jīng)過FEA建模分析的鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。壓電促動器、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及傳感器是免維護(hù)的,不易損壞且提供超高的可靠性。

先進(jìn)的鉸鏈/杠桿設(shè)計(jì)將慣性最小化,允許50mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍(可將光束偏轉(zhuǎn) 100mrad),且具有非常快的響應(yīng)速度,在毫秒級范圍。

除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動態(tài),N35還提供了微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器(SGS)實(shí)現(xiàn)了精確的位置控制,具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度,通常為滿行程的0.02%。

N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡角度測量

技術(shù)參數(shù)

型號:N35.T40S/K

運(yùn)動自由度:θxθy

偏轉(zhuǎn)角度@120V:40mrad(≈8250秒)

偏轉(zhuǎn)角度@150V:50mrad(≈10300秒)

傳感器類型:SGS/-

閉/開環(huán)分辨率:2/1 μrad

閉環(huán)線性度:0.05%F.S.

閉環(huán)重復(fù)度:0.02%F.S.

空載諧振頻率:1300Hz

帶載諧振頻率(12.7mm×3mm鏡片):1050Hz

閉/開環(huán)階躍時(shí)間:1.4/1ms

電容量:14.5μF

材質(zhì):鈦合金

重量:223g

推薦控制器 - E70.D3S壓電控制器

E70.D3S壓電控制器為小體積壓電控制器,具有3個(gè)輸出通道,可含一路恒壓輸出,非常適于驅(qū)動N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

責(zé)任編輯:gt

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