文｜Lee

集微網(wǎng)消息，近期，晶瑞股份因購買ASML光刻機設(shè)備受到了資本市場的熱捧，也收到了深交所下發(fā)的關(guān)注函。深交所重點關(guān)注了晶瑞股份本次購買光刻機設(shè)備的具體用途、資金來源以及本次購買光刻機事項對公司光刻膠業(yè)務(wù)的具體影響等問題。

10月12日，晶瑞股份發(fā)布關(guān)于深圳證券交易所關(guān)注函的回復(fù)公告稱，本次擬購買的光刻機設(shè)備將用于公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越，并最終實現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。

關(guān)于本次購買光刻機設(shè)備的資金來源，晶瑞股份表示，公司擬采用向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集而得，為滿足交付條件公司先用自有及自籌資金投入以及自有及自籌資金。

晶瑞股份本次擬購買光刻機設(shè)備的型號為ASMLXT1900Gi，為ArF浸入式光刻機，可用于研發(fā)最高分辨率達28nm的高端光刻膠，預(yù)計2021年上半年內(nèi)完成運輸并安裝完畢。

晶瑞股份表示，本次購買光刻機可以保障公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進性和設(shè)備如期到位，對加快項目進度有積極影響。若研發(fā)工作進展順利，將有助于進一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，相應(yīng)隨著下一步的產(chǎn)業(yè)化的實施，可彌補我國在高端光刻膠領(lǐng)域的空白，對公司未來在國內(nèi)光刻膠領(lǐng)域占據(jù)領(lǐng)先優(yōu)勢具有積極影響，有助于完善公司產(chǎn)品戰(zhàn)略布局，提高公司抗風(fēng)險能力和可持續(xù)發(fā)展能力。

集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目存6大難點

晶瑞股份日前披露向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券預(yù)案，擬向不特定對象發(fā)行不超5.5億元可轉(zhuǎn)債，用于集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目、陽恒化工年產(chǎn)9萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項目、補充流動資金或償還銀行貸款。

在本次回復(fù)深交所關(guān)注函時，晶瑞股份還披露了上述集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目存在著以下6大難點：

1、項目建設(shè)的難點

本次購買的光刻機設(shè)備系高度精密儀器，須經(jīng)過拆機、運輸、裝機、零配件的更換等過程以及投入相關(guān)配套設(shè)施，若以上環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或失誤可能造成所購買的光刻機投入使用的過程較長甚至無法投入使用，以上工作的順利實施是本項目推進的一大難點。

2、光刻膠研發(fā)的技術(shù)難度

光刻膠作為具有高附加值的高科技產(chǎn)品，在集成電路材料中技術(shù)難度最大，質(zhì)量要求最高。本項目所開發(fā)的光刻膠技術(shù)和產(chǎn)品一直掌握在國外幾大專業(yè)廠商手中。公司本項目旨在打破國外專業(yè)公司壟斷，填補國內(nèi)空白，這一目標(biāo)的實現(xiàn)具備較大的技術(shù)挑戰(zhàn)難度。

3、光刻膠原材料的獲取難度

開發(fā)集成電路用高端光刻膠還需要獲得合適的光刻膠原材料，包括但不限于樹脂、光敏劑、溶劑等。以上部分關(guān)鍵材料的供應(yīng)由歐美日等企業(yè)主導(dǎo)，若在公司后續(xù)研發(fā)及生產(chǎn)過程中出現(xiàn)貿(mào)易爭端或材料禁運將使本項目光刻膠的研發(fā)成為一個難點。

4、光刻膠研發(fā)人才短缺

我國光刻膠市場起步較晚，國內(nèi)了解和掌握集成電路制造用高端光刻膠技術(shù)的人才極度匱乏，日美等少數(shù)光刻膠企業(yè)對此類人才也進行高度管控與流動限制。境內(nèi)高端光刻膠人才的短缺是本項目推進的一大難點。

5、項目管理難點

本項目的推進對公司在資源整合、技術(shù)開發(fā)、資本運作、生產(chǎn)經(jīng)營、市場開拓等方面提出了更高的要求，要求公司管理層素質(zhì)及管理水平能夠適應(yīng)公司規(guī)模迅速擴張以及業(yè)務(wù)發(fā)展的需求，這是對公司整體管理水平的挑戰(zhàn)，也是本項目推進的難點。

6、產(chǎn)品的客戶認(rèn)證難點

本項目的光刻膠研發(fā)出來之后需要經(jīng)過晶圓廠嚴(yán)格的原材料認(rèn)證之后才可產(chǎn)生訂單并產(chǎn)業(yè)化。因此，開發(fā)出可通過客戶嚴(yán)格認(rèn)證的光刻膠產(chǎn)品是本項目推進的難點之一。

原文標(biāo)題：晶瑞股份回復(fù)關(guān)注函：擬購買光刻機可用于研發(fā)28nm的高端光刻膠，預(yù)計明年上半年安裝完畢

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