經(jīng)過20多年發(fā)展，納米壓印技術(shù)、工藝逐漸成熟，越來越多終端市場產(chǎn)品開始搭載采用納米壓印技術(shù)生產(chǎn)的器件。該技術(shù)避免了極為復雜的光學器件制造工藝，在保持高精度的同時，也不會隨產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的復雜程度增加而額外增加制造成本。在集成電路、生物傳感器、微納光學器件等應用領(lǐng)域的大批量生產(chǎn)方面，具有無可比擬的優(yōu)勢。

在今年慕尼黑光博會舉辦的3D人臉識別大會上，3D光學器件廠商均拿出了自己的光學解決方案，無論是采用散斑結(jié)構(gòu)光方案，還是i-TOF、d-TOF方案，其核心光學器件DOE和Diffuser的制造都是采用納米壓印技術(shù)量產(chǎn)的。

納米壓印是通過壓印使高分子材料產(chǎn)生物理變形以實現(xiàn)光刻膠的圖形化，其分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制，可突破傳統(tǒng)光刻工藝的分辨率極限。

埃眸科技壓印175 nm寬度光柵

其次，壓印光刻不需要復雜的透鏡、曝光光源，并且可以大批量重復的在大面積上制備納米圖形結(jié)構(gòu)，所制作的圖案具有很好的均勻性和重復性，是一種能夠以低制作成本和高生產(chǎn)效率獲得高精度圖案的極佳生產(chǎn)方法。

此外，可以將三維結(jié)構(gòu)事先雕刻在模板表面，從而實現(xiàn)高深寬比復雜形狀的三維結(jié)構(gòu)圖形的直接復制。由于壓印光刻具有其他光刻技術(shù)不可比擬的眾多優(yōu)點，是量產(chǎn)微納器件的最佳技術(shù)之一。

基于以上優(yōu)勢，納米壓印技術(shù)正逐步成為一種高精度、低成本、高效的微納加工解決方案，例如在半導體芯片（CMOS芯片）、生物傳感器（例如基因測序、單分子檢測）、光學器件（DOE、Diffuser、MLA、AR衍射波導）、光通信（例如DFB激光器）等方面應用具有無可比擬的優(yōu)勢，給消費、生物、汽車等領(lǐng)域帶來極大的發(fā)展空間，產(chǎn)業(yè)化應用爆發(fā)在即。

盡管納米壓印技術(shù)原理簡單、具有極強的技術(shù)優(yōu)勢，但由于其工藝加工對象是納米級圖形結(jié)構(gòu)，操作對象極其精密，所以工藝過程的每一步都對設備和操作有近似苛刻的要求，技術(shù)含量很高。尤其是調(diào)平和對準系統(tǒng)精度、模板加工精度，材料適配選擇、壓印工藝細節(jié)等更成為納米壓印技術(shù)的核心難點，直接影響納米壓印復制精度及大批量生產(chǎn)的關(guān)鍵點。

埃眸科技是一家專業(yè)從事納米壓印光刻技術(shù)解決方案的公司，核心業(yè)務是提供納米壓印設備、制版、工藝、材料系統(tǒng)解決方案。埃眸科技的研發(fā)團隊來自半導體頭部企業(yè)，擁有豐富高精密設備開發(fā)經(jīng)驗，同時還有一支專業(yè)的工藝團隊，在輸出設備的同時提供工藝配套服務。

目前，埃眸科技已經(jīng)實現(xiàn)多款量產(chǎn)型納米壓印設備的自主研發(fā)，從研發(fā)型到量產(chǎn)型，從輥壓到硬板壓，再到氣動壓印，根據(jù)不同客戶不同產(chǎn)品需求，輸出不同的針對性設備。公司深耕納米壓印領(lǐng)域，并且已經(jīng)持續(xù)出貨交付客戶。

物質(zhì)在納米尺度下表現(xiàn)出的奇異現(xiàn)象和規(guī)律將改變相關(guān)理論的現(xiàn)有框架，使人們對物質(zhì)世界的認識進入到嶄新的階段，孕育著新的技術(shù)革命，給材料、信息、制造、生物和醫(yī)學等領(lǐng)域帶來極大的發(fā)展空間。納米科技已成為許多國家提升核心競爭力的產(chǎn)略選擇，也是我國有望實現(xiàn)跨越式發(fā)展的領(lǐng)域之一，埃眸科技致力于提供納米壓印一站式解決方案，和合作伙伴一起積極探索新的應用場景。

責任編輯：lq