周一，中芯國際在投資者互動平臺表示，公司目前業(yè)務(wù)未涉及石墨烯晶圓領(lǐng)域。

與硅基材料相比，將石墨烯材料用于制造芯片有四大優(yōu)勢：一是單層石墨烯的厚度僅為0.27納米，在半導體工藝制程方面，遵循摩爾定律的發(fā)展?jié)摿Ρ裙杌牧洗蟮枚啵欢鞘┑木w結(jié)構(gòu)讓自由電子遷移不受束縛，電子運行速度達到1/300光速，比硅芯片快100—1000倍；三是用石墨烯制造的處理器頻率有望達到1太赫茲以上，比硅芯片高100—1000倍；四是石墨烯可以制成柔性薄膜，讓電子產(chǎn)品能彎曲、更便攜。

因為這些優(yōu)越的性能，歐盟、美國、韓國等多個國家和地區(qū)都在石墨烯微電子技術(shù)領(lǐng)域進行了布局。如歐盟的“石墨烯旗艦計劃”總投資10億歐元，推動石墨烯電子學應(yīng)用等技術(shù)研發(fā)。

但如果要用石墨烯等碳基二維材料實現(xiàn)電子器件集成，開啟微電子技術(shù)變革，就必須制備出大尺寸、高質(zhì)量的石墨烯單晶晶圓。

那么，我國目前在石墨烯單晶晶圓研究進度如何？

2019年9月，中科院上海微系統(tǒng)所與上海市石墨烯功能型平臺簽約合作，由后者的創(chuàng)新實驗室承擔中試工作，擴大石墨烯晶圓等產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模。

2020年，中科院上海微系統(tǒng)所表示，“我們花10年工夫，終于掌握了石墨烯單晶晶圓可控制備技術(shù)，實現(xiàn)了4—8英寸單晶的小批量生產(chǎn)。”

據(jù)當時解放日報報道，在國家科技重大專項、上海市科委項目支持下，謝曉明團隊解決了用籽晶制備單晶的技術(shù)難題，讓一個幾百微米大小的石墨烯籽晶在二維平面上生長。經(jīng)過約2.5小時，籽晶能生長成1.5英寸大小的石墨烯單晶，生長速度和單晶尺寸都創(chuàng)造了世界紀錄。經(jīng)過后期設(shè)計優(yōu)化，這個團隊已能制備8英寸石墨烯單晶晶圓。

編輯：jq