作為半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)不可或缺的軟件，設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)EAP（Equipment Automation Program）是連接MES，RMS，APC，F(xiàn)DC等上層系統(tǒng)和設(shè)備層的溝通橋梁。在12寸Fab廠，量產(chǎn)線設(shè)備多達(dá)500臺(tái)，8寸Fab廠量產(chǎn)線則有300臺(tái)設(shè)備。

EAP被譽(yù)為“設(shè)備管理大師”，對(duì)生產(chǎn)線上的所有機(jī)臺(tái)進(jìn)行實(shí)時(shí)管控，實(shí)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行的自動(dòng)化；在高端應(yīng)用中，借助AI技術(shù)，通過(guò)RCM實(shí)現(xiàn)Fab廠所有設(shè)備集中化遠(yuǎn)程控制，自動(dòng)處理設(shè)備異常，自動(dòng)修正配方，自動(dòng)創(chuàng)建配方。

上揚(yáng)軟件的EAP支持的通信協(xié)議包括SECS (HSMS,GEM)，PLC (西門子，歐姆龍，三菱，倍福等)。而支持的Fab廠工作模式有如下3種：Open Cassette，自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)SMIF (Standard Merchanical Interface)，全自動(dòng)模式 (AGV 或MCS)。

EAP的主要功能

機(jī)臺(tái)狀態(tài)數(shù)據(jù)收集，包括機(jī)臺(tái)生產(chǎn)模式控制/初始化/啟動(dòng)/停止

機(jī)臺(tái)活動(dòng)數(shù)據(jù)的收集處理和追蹤追溯

批次（Lot）校驗(yàn)/進(jìn)站/出站/掛起

配方管理，包括ID校驗(yàn)、選擇、上傳和下載

警報(bào)管理，當(dāng)機(jī)臺(tái)發(fā)生故障時(shí)，提供報(bào)告，并通知相關(guān)人員進(jìn)行處理

條形碼/RFID/SMART TAG讀取器管理

材料狀態(tài)跟蹤

設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控

上揚(yáng)軟件EAP的特點(diǎn)

1.采用易用的開發(fā)工具

易用的開發(fā)工具便于系統(tǒng)開發(fā)，上手簡(jiǎn)單

工作流機(jī)制保證系統(tǒng)多任務(wù)平穩(wěn)運(yùn)行

2. 服務(wù)器模式，方便升級(jí)和部署

EAP Server以服務(wù)器模式運(yùn)行，控制設(shè)備自動(dòng)化跑貨

Backup Server和Failover機(jī)制保證EAP Server不宕機(jī)

跨平臺(tái)腳本化支持熱發(fā)布

3. 良好的擴(kuò)展性，便于與其它系統(tǒng)集成

易于與其他系統(tǒng)集成，如MES，MCS，SPC，RMS，F(xiàn)DC，APC等

多種通信方式支持，如Web Service, Message bus(RV, Active MQ, Rabbit MQ) 等

支持Linux操作系統(tǒng)，高效穩(wěn)定

多語(yǔ)言支持

4. 適用于半導(dǎo)體6/8/12寸晶圓制造廠和先進(jìn)/傳統(tǒng)封裝廠，光伏組件/電池廠

作為計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)CIM的重要軟件，上揚(yáng)軟件的EAP與MES完美配合，減少并預(yù)防設(shè)備故障，縮短設(shè)備失效時(shí)間，優(yōu)化設(shè)備利用率，從而提高半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)效率，避免人工操作失誤，提高產(chǎn)品良率。

原文標(biāo)題：設(shè)備管理大師 EAP

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