氣敏傳感器的工作原理

聲波器件表面的波速和頻率會隨外界環(huán)境的變化而發(fā)生漂移。氣敏傳感器就是利用這種性能在壓電晶體表面涂覆一層選擇性吸附某氣體的氣敏薄膜，當該氣敏薄膜與待測氣體相互作用（化學(xué)作用或生物作用。

或者是物理吸附），使得氣敏薄膜的膜層質(zhì)量和導(dǎo)電率發(fā)生變化時，引起壓電晶體的聲表面波頻率發(fā)生漂移；氣體濃度不同，膜層質(zhì)量和導(dǎo)電率變化程度亦不同，即引起聲表面波頻率的變化也不同。通過測量聲表面波頻率的變化就可以獲得準確的反應(yīng)氣體濃度的變化值。

生活中常見的氣敏傳感器如：

1、測飲酒者呼氣中酒精量的傳感器；

2、測量汽車空燃比的氧氣傳感器；

3、家庭和工廠用的煤氣泄漏傳感器；

4、用作預(yù)防建筑材料著火產(chǎn)生有毒氣體的傳感器；

5、下水道坑內(nèi)的沼氣警報器。

半導(dǎo)體氣敏傳感器的應(yīng)用

由于半導(dǎo)體氣敏傳感器具有靈敏度高、響應(yīng)時間和恢復(fù)時間快、使用壽命長及成本低等優(yōu)點，所以得到了廣泛應(yīng)用。按照用途、可分為檢測儀、報警儀、自動控制儀器和測試儀器等幾種類型

整合自：電工學(xué)習(xí)網(wǎng)、東莞市高技能公共實訓(xùn)中心、百度百科

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