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芯片制造過程完整流程

倩倩 ? 來源:個人圖書館,海思官網(wǎng), ? 作者:個人圖書館,海思 ? 2021-12-08 15:16 ? 次閱讀
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一顆芯片的誕生,可以分為芯片設(shè)計與芯片制造兩個環(huán)節(jié)。

芯片設(shè)計: 規(guī)劃“芯”天地

芯片設(shè)計階段會明確芯片的用途、規(guī)格和性能表現(xiàn),芯片設(shè)計可分為規(guī)格定義、系統(tǒng)級設(shè)計、前端設(shè)計和后端設(shè)計4大過程。

規(guī)格定義,工程師在芯片設(shè)計之初,會做好芯片的需求分析、完成產(chǎn)品規(guī)格定義,以確定設(shè)計的整體方向。

系統(tǒng)設(shè)計, 基于前期的規(guī)格定義,明確芯片架構(gòu)、業(yè)務(wù)模塊、供電等系統(tǒng)級設(shè)計,例如CPUGPU、NPU、RAM、聯(lián)接、接口等。芯片設(shè)計需要綜合考量芯片的系統(tǒng)交互、功能、成本、功耗、性能、安全及可維可測等綜合要素。

前端設(shè)計,前端設(shè)計時,設(shè)計人員根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計確定的方案,針對各模塊開展具體的電路設(shè)計,使用專門的硬件描述語言(Verilog或VHDL),對具體的電路實現(xiàn)進行RTL(Register Transfer Level)級別的代碼描述。代碼生成后,就需要嚴格按照已制定的規(guī)格標準,通過仿真驗證來反復(fù)檢驗代碼設(shè)計的正確性。之后,用邏輯綜合工具,把用硬件描述語言寫成的RTL級的代碼轉(zhuǎn)成門級網(wǎng)表(NetList),以確保電路在面積、時序等目標參數(shù)上達到標準。邏輯綜合完成后需要進行靜態(tài)時序分析,套用特定的時序模型,針對特定電路分析其是否違反設(shè)計者給定的時序限制。整個設(shè)計流程是一個迭代的流程,任何一步不能滿足要求都需要重復(fù)之前的步驟,甚至重新設(shè)計RTL代碼。

后端設(shè)計,后端設(shè)計是先基于網(wǎng)表,在給定大小的硅片面積內(nèi),對電路進行布局(Floor Plan)和繞線(Place and Route),再對布線的物理版圖進行功能和時序上的各種驗證(Design Rule Check、Layout Versus Schematic等),后端設(shè)計也是一個迭代的流程,驗證不滿足要求則需要重復(fù)之前的步驟,最終生成用于芯片生產(chǎn)的GDS(Geometry Data Standard)版圖。

芯片制造是一層層向上疊加的,最高可達上百次疊加。每一次的疊加,都必須和前一次完美重疊,重疊誤差要求是1~2納米。

芯片制作完整過程包括芯片設(shè)計、晶片制作、封裝制作、成本測試等幾個環(huán)節(jié),其中晶片制作過程尤為的復(fù)雜。 精密的芯片其制造過程非常的復(fù)雜首先是芯片設(shè)計,根據(jù)設(shè)計的需求,生成的“圖樣”。

1、芯片的原料晶圓

晶圓的成分是硅,硅是由石英沙所精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將些純硅制成硅晶棒,成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料,將其切片就是芯片制作具體需要的晶圓。

2、晶圓涂膜

晶圓涂膜能抵抗氧化以及耐溫能力,其材料為光阻的一種。

3、晶圓光刻顯影、蝕刻

該過程使用了對紫外光敏感的化學(xué)物質(zhì),即遇紫外光則變軟。通過控制遮光物的位置可以得到芯片的外形。在硅晶片涂上光致抗蝕劑,使得其遇紫外光就會溶解。

這時可以用上第一份遮光物,使得紫外光直射的部分被溶解,這溶解部分接著可用溶劑將其沖走。這樣剩下的部分就與遮光物的形狀一樣了,而這效果正是我們所要的。這樣就得到我們所需要的二氧化硅層。

4、攙加雜質(zhì)

將晶圓中植入離子,生成相應(yīng)的P、N類半導(dǎo)體。具體工藝是是從硅片上暴露的區(qū)域開始,放入化學(xué)離子混合液中。

這一工藝將改變攙雜區(qū)的導(dǎo)電方式,使每個晶體管可以通、斷、或攜帶數(shù)據(jù)。簡單的芯片可以只用一層,但復(fù)雜的芯片通常有很多層,這時候?qū)⑦@一流程不斷的重復(fù),不同層可通過開啟窗口聯(lián)接起來。

這一點類似多層PCB板的制作制作原理。 更為復(fù)雜的芯片可能需要多個二氧化硅層,這時候通過重復(fù)光刻以及上面流程來實現(xiàn),形成一個立體的結(jié)構(gòu)。

5、晶圓測試

經(jīng)過上面的幾道工藝之后,晶圓上就形成了一個個格狀的晶粒。通過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測。

6、封裝

將制造完成晶圓固定,綁定引腳,按照需求去制作成各種不同的封裝形式,這就是同種芯片內(nèi)核可以有不同的封裝形式的原因。

7、測試、包裝

經(jīng)過上述工藝流程以后,芯片制作就已經(jīng)全部完成了,這一步驟是將芯片進行測試、剔除不良品,以及包裝。

個人圖書館,海思官網(wǎng),半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟綜合整理

責任編輯:李倩

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