一区二区三区三上|欧美在线视频五区|国产午夜无码在线观看视频|亚洲国产裸体网站|无码成年人影视|亚洲AV亚洲AV|成人开心激情五月|欧美性爱内射视频|超碰人人干人人上|一区二区无码三区亚洲人区久久精品

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評(píng)論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

一文詳解自動(dòng)真空探針臺(tái)構(gòu)造設(shè)計(jì)

tjxinrui ? 來源:tjxinrui ? 作者:tjxinrui ? 2022-06-06 10:41 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

一,自動(dòng)真空探針臺(tái)構(gòu)造設(shè)計(jì)

自動(dòng)真空探針臺(tái)主要由工控機(jī)、真空腔體、測(cè) 試儀接口電路、傳感器系統(tǒng)、環(huán)境測(cè)試系統(tǒng)、人機(jī) 界面、XYZ 工作臺(tái)等幾部分組成。

1.1 真空腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及密封技術(shù)

1.1.1 真空腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

真空腔體設(shè)計(jì)的合理性直接影響整個(gè)探針臺(tái)的性能,需要有足夠的空間將XY 工作臺(tái)、承片臺(tái)、測(cè)試探頭等部件容納其中,同時(shí)結(jié)構(gòu)還需 盡量緊湊,因此它的優(yōu)化性設(shè)計(jì)至關(guān)重要。設(shè)計(jì)需要提前考慮的方面有:腔體和外部管件的接口 預(yù)留位置和接口大小、與外部接線端子的預(yù)留位 置和數(shù)量、整個(gè)腔體端蓋的鎖緊形式、觀察窗口和照明系統(tǒng)的位置和數(shù)量、液氮管道的接口形 式、取放片窗口位置和大小,主要包括以下幾方 面的設(shè)計(jì)。

(1)真空腔體密封性設(shè)計(jì);

(2)腔體內(nèi)對(duì)特種氣體的防腐蝕性、防毒性設(shè)計(jì); (3)腔體的電磁屏蔽設(shè)計(jì);

(4)電氣接插頭的防潮、防水設(shè)計(jì);

(5)操作區(qū)的安全設(shè)計(jì);

(6)維修、維護(hù)的方便性設(shè)計(jì)。

1.1.2 真空腔體密封技術(shù)

真空腔體密封技術(shù)是真空探針的關(guān)鍵部分, 真空腔體密封一旦在設(shè)計(jì)和加工過程中出現(xiàn)設(shè)計(jì) 缺陷、密封效果不好等問題,就會(huì)產(chǎn)生氣體泄漏, 對(duì)操作人員造成人身傷害、甚至對(duì)大氣環(huán)境造成 污染,這些問題在后期將無法彌補(bǔ),在腔體裝配前 要進(jìn)行預(yù)裝試驗(yàn),防止類似事件發(fā)生。

真空腔體采用圓形桶狀,下端面與工作平臺(tái) 緊密結(jié)合,上端面端蓋可拆卸。選用不銹鋼材料鍛 造后一體加工。加工過程中合理進(jìn)行材料熱處理,減少加工變形。

焊接各接口時(shí)保證焊接可靠性與密封性,腔體所有零部件連接部位均要考慮密封結(jié)構(gòu),目前 國內(nèi)比較普遍應(yīng)用的密封形式分為KF、CF 和 ISO 密封形式,密封圈材料有丁腈橡膠和氟橡膠 兩種。在探針臺(tái)測(cè)試領(lǐng)域一般選擇KF 密封形式 和氟橡膠材料密封圈,主要特點(diǎn)是裝配方便,氟橡 膠耐真空、耐高溫、耐腐蝕性好。

腔體加工完成后要進(jìn)行真空檢漏試驗(yàn),對(duì)腔 體整體真空度漏率要求小于10~8 Pa·L/s。

1.2 真空探針臺(tái)工作臺(tái)結(jié)構(gòu)

工作臺(tái)結(jié)構(gòu)是真空探針臺(tái)設(shè)備的關(guān)鍵部件之 一,在探針測(cè)試過程起著至關(guān)重要的作用。工作臺(tái) 部分完全置于真空腔體內(nèi),主要包括XY 工作臺(tái)和承片臺(tái)兩部分。

1.2.1 XY 精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

由于XY 工作臺(tái)需要放置于真空腔體內(nèi),XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)越緊湊,真空腔體就越小,設(shè)備尺寸也 就相應(yīng)減小。結(jié)構(gòu)緊湊合理的XY 工作臺(tái)有利于 降低真空腔體加工難度、減少能源浪費(fèi)。

XY 工作臺(tái)整體處于真空腔體中,要求零部件結(jié)構(gòu)密致性好,零部件材料不能逸出空氣,材料表 面不能有揮發(fā)性油脂。XY 工作臺(tái)完全暴露在特 種環(huán)境中,所有零部件均需要通過耐腐蝕、耐低溫 性等試驗(yàn),對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購件,如果沒 有合適的型號(hào)滿足上述要求,需要對(duì)相應(yīng)外購件 加裝特制密封裝置,使外購件與腔體內(nèi)環(huán)境有效 隔絕。

根據(jù)探針測(cè)試需要,XY 精密工作臺(tái)的技術(shù)要 求為:XY 向行程160 mm;精度±0.008 mm;重復(fù) 定位精度±0.003 mm;分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計(jì)時(shí),為達(dá)到上述精密控制要求選用伺服電機(jī) 驅(qū)動(dòng),全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制;整個(gè)工作臺(tái)需要放置于真 空腔體內(nèi),結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計(jì)尺寸,XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式;X 向絲杠采用對(duì)稱方式。

對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購件,選型號(hào)時(shí),需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運(yùn)行情 況,要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣,外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號(hào)滿足上述要求,需要對(duì)相應(yīng)外購件加裝特制 密封罩。

1.2.2 承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

根據(jù)工藝要求,承片臺(tái)在繼承現(xiàn)有抬升機(jī)構(gòu) 穩(wěn)定性、可靠性的同時(shí),還應(yīng)具有高低溫控特性、低電磁吸收率、抗酸堿腐蝕等特性。設(shè)備要求溫度 范圍為-65~+200 ℃,這就要求承片盤溫度在此范圍內(nèi)程控可調(diào)。制冷機(jī)構(gòu)和加熱機(jī)構(gòu)必須和承 片盤非常接近,能夠更大限度地減少能量浪費(fèi),以 快速達(dá)到所需測(cè)試溫度。制冷機(jī)構(gòu)和制熱機(jī)構(gòu)的 合理設(shè)計(jì),可以更好地避免由于溫度傳導(dǎo)作用引 起其它零部件的溫度大幅的變化。腔體內(nèi)填充一 定濃度的特種氣體進(jìn)行測(cè)試,承片臺(tái)的承片盤及 其他機(jī)械構(gòu)件必須具有耐腐蝕,在承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)時(shí),需要在特種環(huán)境下對(duì)選用的加工件材料和 外購件進(jìn)行可靠性實(shí)驗(yàn),保證長(zhǎng)時(shí)間在特種環(huán)境 下的有效性。

承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要具有實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn),茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高,在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ;為了實(shí)現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度,抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高,同時(shí)承片 臺(tái)要具備極高的剛性,而且在150 mm 的臺(tái)面上 剛度一致是非常重要的。通過在Z 軸方向的往復(fù) 移動(dòng),實(shí)現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。

承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型(外圈分隔,內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn))支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中,因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動(dòng)面上通過間隔保持器被相互垂直排列。使得單個(gè)軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷,具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造,軸承間隙可調(diào)整。

即使被施加預(yù)壓,也能獲得高精度的旋轉(zhuǎn)。承片臺(tái) 通過軸承座的連接,使承片臺(tái)與承片盤成為一體, 并通過交叉滾柱軸環(huán)自由轉(zhuǎn)動(dòng)。

承片臺(tái)的升降結(jié)構(gòu)主要是靠滾珠絲杠帶動(dòng)兩 個(gè)對(duì)稱的線性導(dǎo)軌進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)探針 接觸檢測(cè)。

審核編輯:湯梓紅

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 傳感器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2565

    文章

    52880

    瀏覽量

    766484
  • 探針
    +關(guān)注

    關(guān)注

    4

    文章

    219

    瀏覽量

    20965
  • 真空
    +關(guān)注

    關(guān)注

    0

    文章

    73

    瀏覽量

    15414
收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評(píng)論

    相關(guān)推薦
    熱點(diǎn)推薦

    季豐電子推出低高溫手動(dòng)探針臺(tái)設(shè)備

    為滿足客戶對(duì)低溫測(cè)試的要求,季豐電子成功自研了低高溫手動(dòng)探針臺(tái),目前已在季豐張江FA投入使用,該機(jī)臺(tái)填補(bǔ)了傳統(tǒng)常規(guī)型手動(dòng)探針臺(tái)無法實(shí)現(xiàn)低溫測(cè)試環(huán)境的空白。
    的頭像 發(fā)表于 06-05 13:38 ?314次閱讀

    電機(jī)云母槽自動(dòng)下刻機(jī)雙探針接觸式檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

    純分享帖,需要者可點(diǎn)擊附件免費(fèi)獲取完整資料~~~*附件:電機(jī)云母槽自動(dòng)下刻機(jī)雙探針接觸式檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf【免責(zé)聲明】本文系網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載,版權(quán)歸原作者所有。本文所用視頻、圖片、文字如涉及作品版權(quán)問題,請(qǐng)第時(shí)間告知,刪除內(nèi)容!
    發(fā)表于 05-26 02:16

    告別手動(dòng)時(shí)代:揭秘蔡司探針清潔的智能革命

    您是否正面臨以下測(cè)量挑戰(zhàn)? 手動(dòng)清潔三坐標(biāo)探針耗時(shí)耗力,影響生產(chǎn)進(jìn)度? 微小探針清潔困難,容易造成損壞,損失慘重? 探針因積塵或靜電干擾測(cè)量結(jié)果,缺乏有效解決方案? 蔡司探針
    發(fā)表于 03-05 14:59 ?232次閱讀
    告別手動(dòng)時(shí)代:揭秘蔡司<b class='flag-5'>探針</b>清潔的智能革命

    致真精密儀器探針臺(tái)系列產(chǎn)品介紹

    致真精密儀器探針臺(tái)系列產(chǎn)品介紹
    的頭像 發(fā)表于 02-18 10:47 ?471次閱讀
    致真精密儀器<b class='flag-5'>探針</b><b class='flag-5'>臺(tái)</b>系列產(chǎn)品介紹

    高溫電阻測(cè)試儀的四探針法中,探針的間距對(duì)測(cè)量結(jié)果是否有影響

    在高溫電阻測(cè)試儀的四探針法中,探針的間距對(duì)測(cè)量結(jié)果確實(shí)存在影響,但這影響可以通過特定的測(cè)試方法和儀器設(shè)計(jì)來最小化或消除。 探針間距對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響 在經(jīng)典直排四
    的頭像 發(fā)表于 01-21 09:16 ?634次閱讀
    高溫電阻測(cè)試儀的四<b class='flag-5'>探針</b>法中,<b class='flag-5'>探針</b>的間距對(duì)測(cè)量結(jié)果是否有影響

    真空共晶爐怎么選?看這篇就夠了!

    在現(xiàn)代電子制造領(lǐng)域,真空共晶爐作為關(guān)鍵設(shè)備,其性能直接影響到焊接質(zhì)量和生產(chǎn)效率。然而,面對(duì)市場(chǎng)上琳瑯滿目的產(chǎn)品,如何選購一臺(tái)既高效又可靠的真空共晶爐,卻成為許多企業(yè)面臨的難題。本文將從真空
    的頭像 發(fā)表于 12-04 12:48 ?1314次閱讀
    <b class='flag-5'>真空</b>共晶爐怎么選?看這<b class='flag-5'>一</b>篇就夠了!

    微波測(cè)量探針

    微波測(cè)量探針 DC~110GHz 36102系列 觸點(diǎn)防堆金處理 微波測(cè)量探針產(chǎn)品36102系列,無縫隙覆蓋DC~110GHz,觸點(diǎn)防堆金處理,壓痕輕,性能可靠,產(chǎn)品統(tǒng)采用標(biāo)準(zhǔn)同軸安裝接口,觸點(diǎn)
    的頭像 發(fā)表于 11-27 17:28 ?514次閱讀
    微波測(cè)量<b class='flag-5'>探針</b>

    智慧公交是什么?帶你詳解智慧公交的解決方案!

    智慧公交是什么?帶你詳解智慧公交的解決方案!
    的頭像 發(fā)表于 11-05 12:26 ?946次閱讀
    智慧公交是什么?<b class='flag-5'>一</b><b class='flag-5'>文</b>帶你<b class='flag-5'>詳解</b>智慧公交的解決方案!

    SMU數(shù)字源表連接探針臺(tái)示意圖及注意事項(xiàng)

    數(shù)字源表SMU與探針臺(tái)組合用于半導(dǎo)體測(cè)試,連接需考慮線纜類型和探針選擇。測(cè)試時(shí)需注意探針臺(tái)接地、連接線接地、關(guān)閉光源,小電流測(cè)試加屏蔽罩,異
    的頭像 發(fā)表于 10-30 14:42 ?602次閱讀
    SMU數(shù)字源表連接<b class='flag-5'>探針</b><b class='flag-5'>臺(tái)</b>示意圖及注意事項(xiàng)

    變速自動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)板方案技術(shù)詳解

    在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時(shí)代,變速自動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)板方案成為了眾多領(lǐng)域中備受關(guān)注的項(xiàng)技術(shù)。它就像是位精準(zhǔn)的舞者,在舞臺(tái)上展現(xiàn)著靈動(dòng)與高效的魅力。 ?首先,讓我們來了解
    的頭像 發(fā)表于 09-24 17:50 ?487次閱讀

    探針頭型怎么選擇尺寸

    探針頭型的選擇尺寸是個(gè)復(fù)雜的過程,需要考慮多個(gè)因素,包括被測(cè)點(diǎn)的形狀、大小、間距、測(cè)試環(huán)境以及測(cè)試要求等。以下是些選擇探針頭型尺寸的基本原則和步驟:
    的頭像 發(fā)表于 09-07 10:48 ?1679次閱讀

    開爾文探針測(cè)試原理是什么

    開爾文探針測(cè)試(Kelvin Probe Force Microscopy,KPFM)是種非接觸式表面電勢(shì)測(cè)量技術(shù),廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、表面科學(xué)、納米技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。KPFM技術(shù)通過測(cè)量探針
    的頭像 發(fā)表于 08-27 15:29 ?5440次閱讀

    《圖說本源產(chǎn)品》系列之三:量子芯片“火眼金睛” · 無損探針臺(tái)

    臺(tái)”全稱為“無損探針電學(xué)測(cè)量平臺(tái)”,是本源量子自主研發(fā)的款用于超導(dǎo)量子芯片常溫電參數(shù)精密測(cè)量的半自動(dòng)化工業(yè)母機(jī)產(chǎn)品,可以在不影響量子比特性能的情況下,實(shí)現(xiàn)量子比
    的頭像 發(fā)表于 08-03 08:23 ?688次閱讀
    《圖說本源產(chǎn)品》系列之三:量子芯片“火眼金睛” · 無損<b class='flag-5'>探針</b><b class='flag-5'>臺(tái)</b>

    分享:晶圓探針測(cè)試中探針臺(tái)自動(dòng)化控制

    NSAT-1000射頻測(cè)試系統(tǒng)在ATECLOUD測(cè)試平臺(tái)基礎(chǔ)上開發(fā)而成,具有強(qiáng)大的兼容性,可以靈活快速接入設(shè)備,自動(dòng)識(shí)別儀器,探針臺(tái)就是其中之。平臺(tái)會(huì)封裝
    的頭像 發(fā)表于 07-18 17:50 ?734次閱讀
    分享:晶圓<b class='flag-5'>探針</b>測(cè)試中<b class='flag-5'>探針</b><b class='flag-5'>臺(tái)</b>的<b class='flag-5'>自動(dòng)</b>化控制

    案例 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)試軟件與探針臺(tái)、網(wǎng)分通訊,測(cè)量晶圓芯片

    北京某科技公司致力于射頻芯片的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于4G、5G移動(dòng)終端和物聯(lián)網(wǎng)模組等領(lǐng)域。該公司與納米軟件合作,旨在通過矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀軟件與探針臺(tái)、網(wǎng)分的通訊,完成晶圓芯片S參數(shù)的全自動(dòng)化測(cè)試。
    的頭像 發(fā)表于 07-15 16:01 ?804次閱讀
    案例 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)試軟件與<b class='flag-5'>探針</b><b class='flag-5'>臺(tái)</b>、網(wǎng)分通訊,測(cè)量晶圓芯片