我們最近為CM300xi探針臺(tái)推出了一些革命性的新型硅光子（SiPh）探針解決方案。這些新功能之一是專有的OptoVue Pro?，可在不移除當(dāng)前被測(cè)試晶圓的情況下就地進(jìn)行光學(xué)定位器校準(zhǔn)。

OptoVue Pro位于CM300xi的輔助卡盤(pán)位置，包括功能豐富的工具集，可提供更快的時(shí)間來(lái)獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。它提供了先進(jìn)的技術(shù)，可在不移除當(dāng)前被測(cè)試晶圓的情況下就地進(jìn)行光學(xué)定位器校準(zhǔn)。這些無(wú)縫的自動(dòng)校準(zhǔn)可以在無(wú)需操作員干預(yù)的情況下執(zhí)行，從而縮短了測(cè)量時(shí)間并降低了測(cè)試成本。此外，開(kāi)創(chuàng)性的新設(shè)計(jì)提供了更多的光纖/陣列觀察方向，從而帶來(lái)了更精確的校準(zhǔn)結(jié)果。

OptoVue Pro的其他獨(dú)有功能是真正的水平邊緣耦合和單個(gè)光子設(shè)備的探測(cè)，光纖和光纖陣列的檢查和測(cè)量以及探頭尖端的原位功率測(cè)量。

將這些功能進(jìn)一步細(xì)分…

CalVue– CalVue支持Z位移和光學(xué)定位的原位校準(zhǔn)。利用獨(dú)特設(shè)計(jì)的后視鏡技術(shù)，eVue的物鏡照明可用于查看光纖/陣列的所有方面，而無(wú)需外部光。這消除了對(duì)傾斜照明的需求，并實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)的實(shí)時(shí)自動(dòng)機(jī)器視覺(jué)校準(zhǔn)。

PowerVue

使用高靈敏度光電二極管，PowerVue能夠在光纖/陣列尖端進(jìn)行原位功率測(cè)量，以了解進(jìn)入設(shè)備的實(shí)際功率。它還可以用于測(cè)量和去除激光到光纖的路徑損耗。

ProbeVue

使用一種新穎的設(shè)計(jì)技術(shù)，ProbeVue允許對(duì)單根光纖和光纖陣列以及DC和RF探頭進(jìn)行向上檢查的探頭檢查功能。如果測(cè)量性能下降，則可以在原位查找探頭的磨損或損壞。對(duì)于光纖陣列探測(cè)，通過(guò)能夠找到從陣列角到V形槽中第一根光纖的初始陣列耦合偏移位置的功能，這非常有價(jià)值。

迪威

測(cè)試單個(gè)芯片并將測(cè)試轉(zhuǎn)移到晶圓級(jí)的能力最終改變了新項(xiàng)目的批量生產(chǎn)時(shí)間。 DieVue是一個(gè)單獨(dú)的裸片固定位置，可使用標(biāo)準(zhǔn)套件或定制裸片固定器將多達(dá)25x25mm的裸片真空固定，以用于表面和邊緣耦合應(yīng)用。 DieVue是業(yè)內(nèi)唯一能夠?qū)崿F(xiàn)真正的芯片級(jí)水平邊緣耦合探測(cè)和優(yōu)化的解決方案。

審核編輯：湯梓紅