2022年5月20日，美國總統(tǒng)拜登在韓國總統(tǒng)尹錫悅陪同下視察了三星半導(dǎo)體工廠擴(kuò)建的最新產(chǎn)線，三星半導(dǎo)體的工作人員向總統(tǒng)們介紹了其產(chǎn)品的部署進(jìn)展時(shí)，介紹了Park Systems 對(duì)新的半導(dǎo)體制程量測(cè)的貢獻(xiàn)。

帕克原子力顯微鏡公司（Park Systems，以下稱：帕克）為滿足半導(dǎo)體客戶對(duì)大面積掃描和納米級(jí)計(jì)量日益增長的需求，最新推出了Park NX-Hybrid WLI半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)，可為用戶提供全面的計(jì)量解決方案。此機(jī)臺(tái)不僅可實(shí)現(xiàn)亞埃米級(jí)的高精度微觀形貌測(cè)量，同時(shí)在成像時(shí)還具有測(cè)量區(qū)域大、吞吐量高的優(yōu)點(diǎn)。

Park NX-Hybrid WLI半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)，作為一種功能強(qiáng)大的半導(dǎo)體計(jì)量工具，首次將原子力顯微鏡 (AFM) 與白光干涉儀 (WLI) 輪廓測(cè)量技術(shù)二者的核心優(yōu)勢(shì)整合為一個(gè)最佳系統(tǒng)。其中， 白光干涉測(cè)量 (WLI) 是一種無損傷、非接觸式的光學(xué)技術(shù)，用于生成高保真的2D 和 3D 的輪廓模型，現(xiàn)已成為半導(dǎo)體生產(chǎn)質(zhì)量保證。然而，單獨(dú)的 WLI 已經(jīng)不能滿足特定的需要，應(yīng)運(yùn)而生的Park NX-Hybrid WLI適用于更高分辨率和精確度的應(yīng)用，例如高級(jí)化學(xué)機(jī)械拋光 (CMP) 計(jì)量和監(jiān)測(cè)、凹陷、腐蝕和邊緣過度腐蝕 (EOE) ，膜厚，柱高，孔結(jié)構(gòu)和模具比較。除此之外，它還能應(yīng)用于包括硅通孔 (TSV) 、微凸點(diǎn)測(cè)量重分布層 (RDL) 測(cè)量和光刻膠殘留檢測(cè)在內(nèi)的高級(jí)封裝。

△Park NX-Hybrid WLI

與傳統(tǒng)獨(dú)立的WLI和AFM系統(tǒng)不同，Park NX-Hybrid WLI以無縫銜接的方式實(shí)現(xiàn)了更多功能，并以極低的成本創(chuàng)建了一個(gè)完整的集成工具，將兩種工具安裝在同一個(gè)支架上并由一個(gè) EFEM 饋送，該系統(tǒng)創(chuàng)建了完全集成和可交換的數(shù)據(jù)，減少了晶圓廠占地面積并提高了更大面積的吞吐量。在這個(gè)整合的系統(tǒng)中，基于Park NX-Wafer而成的Park AFM，是業(yè)界領(lǐng)先的半導(dǎo)體及相關(guān)設(shè)備的自動(dòng)化原子力顯微鏡系統(tǒng)，它能夠進(jìn)行線上生產(chǎn)質(zhì)量保證和研發(fā)。組合而成的AFM/WLI系統(tǒng)，使用 WLI模塊能夠在超廣的區(qū)域提供高通量成像，并使用AFM在需要的區(qū)域提供亞埃高度分辨率的納米級(jí)計(jì)量。其中“熱點(diǎn)檢測(cè)”技術(shù)能快速定位高分辨率AFM的缺陷位置。此系統(tǒng)可以使用該技術(shù)比較和參考目標(biāo)樣本區(qū)域的圖像來檢測(cè)圖案結(jié)構(gòu)的缺陷。

Park WLI 模塊支持白光干涉測(cè)量 (WLI) 和相移干涉測(cè)量 (PSI) 模式。PSI 模式通過電動(dòng)濾光片更換器啟用，兩個(gè)物鏡可以由電動(dòng)鏡頭自動(dòng)更換，支持 2.5倍、10倍、20倍、50倍的物鏡放大倍率，并具有 100x CMOS 的相機(jī)功能。

Park NX-Hybrid WLI 糅合了兩種互補(bǔ)的技術(shù)，是一個(gè)全面綜合性自動(dòng)化計(jì)量系統(tǒng)。與兩個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)相比，該系統(tǒng)可有效節(jié)約成本。

目前推出的新款Park NX-Hybrid機(jī)臺(tái)，是帕克公司今年計(jì)劃推出的一系列混合計(jì)量產(chǎn)品的一部分，用以提高和改善原子力顯微鏡在各大工業(yè)和學(xué)術(shù)研究應(yīng)用中的利用率。

關(guān)于帕克公司

韓國帕克股份有限公司(Park)成立于1988年，是全球第一個(gè)推出商業(yè)原子力顯微鏡產(chǎn)品的上市公司。Park成立30多年來，始終致力于納米領(lǐng)域的形貌&力學(xué)測(cè)量和半導(dǎo)體新技術(shù)新產(chǎn)品的開發(fā)。Park采用XY和Z軸分離的平板式掃描器，加上獨(dú)家的真正非接觸模式，可避免形貌掃描過程中因探針磨損帶來的圖像失真和數(shù)據(jù)不一致問題；快速成像技術(shù)還可以大大提高測(cè)試效率，降低實(shí)驗(yàn)測(cè)試成本。

Park成立至今，致力于新產(chǎn)品和新技術(shù)的開發(fā)，為客戶解決各種技術(shù)難題，提供最完善的解決方案。Park的原子力顯微鏡以高尖端產(chǎn)品質(zhì)量和快捷優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)受到廣大客戶的認(rèn)可。為了給客戶提供高效便捷的售后服務(wù)， 韓國帕克股份有限公司北京代表處建立有售后服務(wù)中心并配有備件倉庫。

審核編輯：符乾江