MEMS傳感器被認為是汽車不可缺少的部件，它對于提升汽車性能和駕駛體驗，有著顯著作用。研究機構(gòu)數(shù)據(jù)顯示，平均每輛汽車包含10個傳感器，而高級汽車會約用20至30只MEMS傳感器。寶馬、奧迪、奔馳車的高端車型傳感器普遍超過40個，越是高端的汽車采用的傳感器數(shù)量越多，對傳感器質(zhì)量要求也愈高。

MEMS傳感器可以提升汽車安全性、靈敏度并降低成本，其核心應用包括車輛的防抱死系統(tǒng)、車身穩(wěn)定系統(tǒng)、電控懸掛、電動剎車、胎壓監(jiān)控、引擎防抖、車輛傾角計量等等。

依據(jù)傳感器所處的控制系統(tǒng)，MEMS傳感器可分為發(fā)動機控制傳感器、底盤控制傳感器、車身控制傳感器及電氣設(shè)備傳感器四類；依傳感器的測量原理，MEMS傳感器可分為力學量傳感器、磁學量傳感器、熱學量傳感器、化學量傳感器與微生物傳感器五類。下面為大家介紹三種最重要的傳感器

1.MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器主要應用于對汽車氣缸負壓、吸氣壓，渦輪發(fā)動機的升壓比、油壓等進行檢測。檢測氣缸壓力是優(yōu)化汽車發(fā)動機性能的基礎(chǔ)，因氣缸內(nèi)溫度偏高，傳統(tǒng)多利用壓電傳感器或是光纖傳感器進行測量，其檢測效果雖好，但成本偏高。當前諧振式硅壓力傳感器已實現(xiàn)批量生產(chǎn)，其可于高溫環(huán)境下工作，且能保持較高測試精度，現(xiàn)已應用于測量汽車氣缸壓力。

MEMS壓力傳感器還可應用于監(jiān)測汽車輪胎壓力，部分汽車輪胎制造商已在輪胎當中埋置了利用MEMS技術(shù)所制造的微型壓力傳感器，以免輪胎充氣不足或過量。

2、MEMS加速度傳感器

加速度傳感器被廣泛應用于汽車安全氣囊，汽車發(fā)生碰撞時及時將安全氣囊打開。因此這種傳感器的靈敏度直接影響駕駛員安全。此外MEMS傳感器可用于對汽車發(fā)動機的振動狀態(tài)進行測量，以點火提前角控制進行調(diào)整，以免發(fā)動機爆震。另還有安裝于半主動懸掛系統(tǒng)減壓器的傳感器，其可保證汽車于調(diào)整置身和行駛于不平路面時的駕駛性能。

3、MEMS角速度傳感器（陀螺儀）

角速度傳感器（陀螺儀）主要應用于控制車輛姿態(tài)、發(fā)出翻車報警與汽車導航當中，其中汽車導航需利用到角速度傳感器與車輪轉(zhuǎn)速傳感器，且要將其與汽車電子系統(tǒng)中的電子地圖與GPS相互結(jié)合。當前表面微機械陀螺儀與音叉式陀螺儀已實現(xiàn)了批量生產(chǎn)，很多高級轎車當中均會安裝此類傳感器。

據(jù)悉，新能源汽車中，MEMS傳感器的應用也有所增加，理想L9整車超25個視覺傳感器，長安深藍SL03可選裝到27個傳感器，小鵬P7或?qū)⑴渲?1個傳感器，前不久上市的亞迪海豹也有15個傳感器，華為發(fā)布的阿爾法s的傳感器則高達34個。

可以預見，MEMS傳感器在汽車領(lǐng)域?qū)⒗^續(xù)保持高速增長。作為全球知名的自動化測試設(shè)備服務商，SPEA熟知各類傳感器性能參數(shù)和MEMS測試要求SPEA將繼續(xù)以更高效的測試設(shè)備來提升級MEMS器件的性能與穩(wěn)定性。

審核編輯：湯梓紅