來源：Manz

· 成功克服面板翹曲，打造業(yè)界最大生產面積700mm x 700mm

· 生產設備已出貨全球知名半導體制造商進行試產

· 板級封裝為芯片整合注入新生產模式；也為中國芯片產品自主化注入新契機

Manz亞智科技研發(fā)部協理 李裕正博士于會中解說Manz FOPLP工藝突破之處以及未來應用

活躍于全球并具有廣泛技術組合的高科技設備制造商Manz 集團，掌握全球半導體先進封裝趨勢，加速開發(fā)新一代專利垂直電鍍生產設備并無縫整合濕法化學工藝設備、自動化設備，以優(yōu)異的設備制程經驗以及機電整合能力， 打造新一代板級封裝中的細微銅重布線路層(RDL)生產線，生產面積達業(yè)界最大基板尺寸700mm x 700mm，創(chuàng)下板級封裝生產效率的新里程碑！

Manz板級封裝的突破，為半導體封裝開啟另一扇門，技術日上專家云集。友威科技研發(fā)與市場開發(fā)副總經理 劉品均、蘇州晶方半導體科技股份有限公司副總裁 劉宏鈞、華天科技(昆山)電子有限公司研究院院長 馬書英博士、中國半導體行業(yè)協會封測分會秘書長 徐冬梅教授、Manz亞智科技總經理 林峻生、無錫華潤安盛科技有限公司總經理 吳建忠、國際半導體產業(yè)協會 Semi China 中國區(qū)高級總監(jiān) 張文達、Manz亞智科技研發(fā)部協理 李裕正博士、麥德美集成電路事業(yè)處大中華區(qū)業(yè)務總監(jiān) 成云遠以及KLA產品營銷經理 王勇（由左到右）

板級封裝是兼具大產能及成本優(yōu)勢的新技術， Manz是板級封裝RDL工藝的市場領跑者之一，從研發(fā)515mm x 510mm面板開始，再演進至600mm x 600 mm，今年成功克服面板翹曲而打造700mm x 700mm的業(yè)界最大面板生產尺寸。目前，Manz生產設備已出貨全球知名半導體制造商，應用于車載與射頻芯片的封裝量產，展現了新技術的實力！

由Manz新一代板級封裝RDL自動化生產線試生產的產品

Manz新一代板級封裝 RDL生產線不僅僅提升生產效率，同時也兼顧成本及產品性能。該生產線以大面積電鍍制作精密的RDL層銅線路，克服電鍍與圖案化均勻度、分辨率與高度電氣連接性的挑戰(zhàn)，涵蓋傳統強項濕法化學工藝的洗凈、顯影、蝕刻、剝膜與關鍵電鍍銅設備，同時實現全線的自動化生產。此外，Manz還積極整合材料商、上下游設備商，為客戶提供完整的RDL生產設備及工藝規(guī)劃服務，從自動化、材料使用與環(huán)保多維度協助客戶打造高效生產解決方案并優(yōu)化制程良率及降低制造成本。

Manz亞智科技總經理 林峻生先生、銷售副總 簡偉銓先生以及研發(fā)部協理 李裕正博士為媒體老師解說目前Manz板級封裝技術及未來策略發(fā)展

創(chuàng)新無治具板級電鍍系統，兼顧大面積與高均勻度之應用需求

在大面積板級封裝生產時，要達成高均勻線路重分布層的實踐，電鍍設備是關鍵。Manz創(chuàng)新杯式垂直電鍍系統設計，不需笨重密封的陰極治具，多分區(qū)陽極設計，能達成高均勻性電鍍。

高精度自動化移載系統，達成自動化生產

搭配無治具基板之高精度移載與上下板技術，開發(fā)新移載架構，取代機械手臂，以縮小系統占地面積。并結合真空吸盤設計，無損基板且避免斷電掉板之生產問題。

板級封裝技術━━車規(guī)級芯片中功率半導體、傳感器及通信芯片最佳生產解決方案之一

全球芯片應用端在發(fā)生變化，消費性電子產品如智能手機、 PC 、 NB 等供需緊張情形趨緩，取而代之的是5G、物聯網、車用電子對芯片的需求成為持續(xù)驅動芯片生產的主要動能。相關機構預測，到2026年時，車用芯片市場占有率及年增長率將雙雙提升。

中國電動汽車發(fā)展迅速，2021年純電車產量已占全球的50%，但功率半導體、傳感器及通信芯片等主要車用芯片的國產化率卻不及12%。要快速發(fā)展國內車規(guī)芯片，先進封裝技術是一條可靠的技術路徑。

眾多先進封裝技術之中，板級封裝技術因具備大產能且更具成本優(yōu)勢，是目前高速成長功率、傳感器、通信等車規(guī)級/芯片生產的最佳解決方案。未來，隨著政策繼續(xù)力挺半導體產業(yè)，電動車持續(xù)帶動車規(guī)級芯片市場需求，車規(guī)級芯片國產化進程有望加速，將促進板級封裝技術同步發(fā)展。

Manz集團亞洲區(qū)總經理 林峻生先生展示以Manz新一代板級封裝 RDL自動化生產線所試生產的產品。

Manz亞智科技與國內產業(yè)鏈進行過多次深入合作，涵蓋產、學、研，旨在有效推進國內板級封裝的建設。Manz集團亞洲區(qū)總經理林峻生先生表示：“我們將繼續(xù)發(fā)揮自身在技術和市場方面的積累，通過整合，積極推動板級封裝實現產業(yè)化落地，全方位推進國內在先進封裝的發(fā)展，為整個產業(yè)生態(tài)的建設貢獻出更多的力量?！?/p>

中國半導體行業(yè)協會封測分會秘書長 徐冬梅教授于Manz技術日上致詞

政府在政策層面上給予先進封裝諸多的支持，各地十四五規(guī)劃都將發(fā)展先進封裝列入其中，以不斷增強產業(yè)國際競爭力、創(chuàng)新力及技術力。林峻生先生指出：“為了給予客戶全方位的技術工藝與服務，迎接這一波板級封裝的快速成長，我們在上下游制程工藝及設備的整合、材料使用皆與供應鏈保持密切合作，藉由凝聚供應鏈共同目標，提供給客戶更創(chuàng)新的板級封裝制程工藝技術，為客戶打造高效生產解決方案的同時優(yōu)化制程良率及降低制造成本。我們提供以市場為導向的板級封裝RDL一站式整體解決方案，打造共榮共贏的供應鏈生態(tài)?！?/p>

*日本研調機構富士經濟（Fuji Keizai）

關于Manz

擘劃創(chuàng)新設備成就生產力 —— ENGINEERING TOMORROW'S PRODUCTION

Manz 集團是一家活躍于全球的高科技生產設備制造商。集團核心技術涵蓋自動化、濕法化學工藝、檢測系統和激光加工；憑借著核心技術及超過三十年的生產設備制造經驗，專注于開發(fā)設計創(chuàng)新的高效生產設備，應用于電子產品、汽車和電動車和醫(yī)療等市場的生產設備解決方案，涵蓋半導體板級封裝、顯示器、IC載板、鋰電池以及電池CCS組件等制造，從用于實驗室生產或試生產和小量生產的訂制單機、標準化模塊設備和系統生產線，到量產線的整廠生產設備解決方案。

集團銷售活動分為兩個市場：車用與鋰電池解決方案和產業(yè)解決方案。車用與鋰電池解決方案專注于高效鋰電池的智慧生產解決方案。產業(yè)解決方案專注于電子零組件、電子電力以及消費性電子產品、電動動力系統組件的組裝和生產解決方案。

Manz集團成立于 1987 年，自 2006 年起在法蘭克福證券交易所上市。全球約 1,400 名員工位于德國、斯洛伐克、匈牙利、意大利、中國大陸和臺灣進行開發(fā)和生產；美國和印度也設有銷售和客戶服務子公司。2021財年集團的收入約為 2.27 億歐元。

審核編輯黃昊宇