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首臺ASML光刻機搬入!中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體晶圓廠將投產(chǎn)!

傳感器專家網(wǎng) ? 2022-12-19 10:20 ? 次閱讀

由上海建工四建集團承建的臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入儀式。這意味著,首臺ASML光刻機搬入,中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體自動化晶圓制造中心即將投入生產(chǎn);與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態(tài)度! 為了遏制中國科技發(fā)展,美方不僅施壓荷蘭光刻機制造商阿斯麥(ASML)禁止向我國出售14nm及以下工藝的DUV光刻機,還一直試圖要求該公司禁止對華銷售部分舊款光刻機,以及所有制造芯片所需的主流技術(shù)。 要知道,目前全球只有ASML能夠生產(chǎn)先進的EUV光刻機,但ASML的光刻機匯集了世界高端技術(shù)的結(jié)晶,其中自然用到了很多含有美國設(shè)備的技術(shù),所以ASML自由出貨被美方拿捏得死死的。 不過,現(xiàn)在傳來一則好消息,ASML針對自由出貨不愿意再妥協(xié)了——近日,由上海建工四建集團承建的臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入儀式。 這意味著,首臺ASML光刻機搬入,中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體自動化晶圓制造中心即將投入生產(chǎn);與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態(tài)度! 9c50bcc8-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg9c5f3636-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg ?造芯:預(yù)計年產(chǎn)36萬片! 根據(jù)鼎泰匠芯官方消息顯示,臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)F16-01地塊項目,位于上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn),東至新元南路,西至鴻音路,北至萬水路,占地約198畝,總建筑面積達204059.7平方米,總投資超120億元。 該項目于2021年1月開啟,同年7月正式開工,建成后將導(dǎo)入荷蘭安世半導(dǎo)體技術(shù)打造國內(nèi)第一座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體自動化晶圓制造中心,對臨港新片區(qū)建設(shè)世界級的電動汽車全產(chǎn)業(yè)鏈具有重要意義。

據(jù)悉,建設(shè)包括FAB生產(chǎn)廠房(含潔凈室)、OS生產(chǎn)調(diào)度及研發(fā)大樓、CB綜合樓、WH倉庫、CUB動力站等大型群體工程。其中,F(xiàn)AB生產(chǎn)廠房作為本工程最大規(guī)模單體,建筑面積達104085.98平方米。 待該項目全面達到預(yù)期產(chǎn)能后,可實現(xiàn)年產(chǎn)能約36萬片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圓片,主要生產(chǎn)MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件產(chǎn)品。同時,還將同步推動建成芯片設(shè)計、5G智能硬件AI/IOT模塊設(shè)計的研發(fā)總部,助力上海成為國際一流的半導(dǎo)體和5G產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新高地。 9ca1feda-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg▲臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)F16-01地塊項目 根據(jù)公開資料顯示,鼎泰匠芯母公司是聞天下科技集團有限公司,聞天下旗下的聞泰科技(安世半導(dǎo)體)是全球知名的半導(dǎo)體IDM企業(yè),在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域形成了產(chǎn)品設(shè)計、仿真、制造、封裝、測試、標(biāo)定、可靠性試驗驗證等一系列IDM核心技術(shù)能力,在車規(guī)級半導(dǎo)體領(lǐng)域處于全球領(lǐng)先,對晶圓制造建廠、設(shè)備、工藝及產(chǎn)品等都有著豐富的認知和實踐經(jīng)驗。 未來,臨港12英寸車規(guī)級晶圓廠的投產(chǎn),也將有助于安世半導(dǎo)體快速增加產(chǎn)能,對滿足全球客戶日益增長的需求具有重要意義。 ASML:不放棄中國市場! 眾所周知,芯片制造離不開光刻機。盡管最近一段時間ASML成為了美國施壓的對象,但其實ASML一直都在提升對國內(nèi)市場的出貨能力。比如,今年第一季度ASML就出貨了23臺DUV光刻機,國內(nèi)市場一舉超過美國,成為ASML第三大市場。現(xiàn)如今,ASML不僅拒絕收緊DUV光刻機的出貨范圍,還計劃將在中國臺灣地區(qū)投資300億新臺幣進行擴產(chǎn)。隨著先進光刻機產(chǎn)能的提升和High-NA EUV光刻機的問世,ASML有望自由出貨更先進的設(shè)備。 9cbc04d8-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.png▲鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入現(xiàn)場 據(jù)了解,ASML做出這樣的決定,主要出于以下幾點原因: 首先,國內(nèi)市場是最大的芯片消費市場,目前很多國內(nèi)廠商開始自研自產(chǎn)芯片,進口芯片出現(xiàn)了明顯的下滑趨勢。越來越多的芯片在國內(nèi)生產(chǎn)制造,自然就需要用到更多的光刻機等設(shè)備。 另外,新能源汽車無疑是未來趨勢之一,而中國又是最大的新能源汽車消費國,同時也是最大的出口國,新能源汽車生產(chǎn)制造需要大量的芯片。 相比手機而言,汽車是更大的產(chǎn)業(yè)鏈,畢竟會有更多的汽車芯片在國內(nèi)完成生產(chǎn)制造,這對光刻機的需求自然也會進一步增加。 其次,ASML能夠更多的出貨,也是因為ASML的光刻機制造技術(shù)最為先進,其它廠商根本替代不了。據(jù)了解,ASML的光刻機技術(shù)來自全球40多個國家、數(shù)百家供應(yīng)商,就連美國也沒有獨立生產(chǎn)制造光刻機的能力。另外,在ASML生產(chǎn)制造的光刻機中,美國技術(shù)占比是有限的。因此,美方修改規(guī)則限制出貨,這對ASML光刻機出貨的影響也相對是有限的。 更何況,國內(nèi)廠商在先進光刻機方面取得了諸多突破,目前已經(jīng)拿下了國內(nèi)八成光刻機市場,以及全球四成的封裝光刻機市場。 由此可以看出,ASML不放棄中國市場是對的。 9cd7ca6a-7abf-11ed-abeb-dac502259ad0.jpg▲ASML首席執(zhí)行官Peter Wennink 正如ASML首席執(zhí)行官Peter Wennink在今年7月披露財報時表示:中國大陸是半導(dǎo)體行業(yè)的重要參與者,是全球市場非常重要的供應(yīng)商。“政客們”沒事就要提出限制向中國大陸銷售DUV光刻機的計劃,但是世界不能忽視“中國半導(dǎo)體產(chǎn)能對全球電子產(chǎn)業(yè)的重要性”。如果美方迫使ASML停止向中國銷售DUV光刻設(shè)備,那么全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈將面臨中斷。


原文標(biāo)題:首臺ASML光刻機搬入!中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體晶圓廠將投產(chǎn)!

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