濱松InGaAs相機在光波導領域的應用案例
紅外相機InGaAs在光波導方向的應用案例介紹。
案例介紹
推薦相機
案例：波導耦合
InGaAs相機
案例：光纖波導耦合對準
InGaAs相機
案例：硅波導損耗分析
InGaAs相機
案例：波導耦合
關鍵詞：光纖輸出
使用1550 nm紅外激光光纖輸出后，耦合進芯片上的波導，光波導上有環(huán)形光柵，一部分激光進入環(huán)形光柵，實驗理想的結果是環(huán)形光柵部分亮度高，同時波導后端沒有光，實驗中使用紅外相機觀察波導上環(huán)形光柵的結構。相機前端使用了40倍的物鏡，以下圖片為實驗部分結構及環(huán)形光柵圖片。
案例：光纖波導耦合對準
關鍵詞：C12741-03
配套客戶量子電壓與量子霍爾電阻原級技術裝備，為硅基微環(huán)光子溫度計中的光纖波導耦合對準用途 通過紅外圖像，找到間斷三角，進而做對準。（此圖為C14041-10U拍攝，如用高分辨率版C12741-03效果更佳）
案例：硅波導損耗分析
關鍵詞：C12741-03
拍攝條件： 曝光時間1 ms、顯微鏡物鏡Olympus UPlanFLN 40x/0.75
硅光波導的損耗主要來源于散射，對通光的硅波導進行近場成像可以觀察其散射情況，利用InGaAs紅外相機良好的線性度，可以通過讀取圖像灰度得到光在波導不同地方的散射強度，從而計算出單位長度的波導損耗。這種方法還可以對光子芯片進行無損壞分析、查找缺陷等。
審核編輯黃宇
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