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光學(xué)3d表面輪廓儀是干嘛的

中圖儀器 ? 2022-04-19 18:00 ? 次閱讀
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中圖儀器,堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,為用戶提供從納米到百米的精密測量解決方案!

光學(xué)3d表面輪廓儀是干嘛的?光學(xué)3d表面輪廓儀是利用光學(xué)原理開發(fā)的非接觸測量儀器,更能滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化測量的高精度、低成本和小型化需求。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

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工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

產(chǎn)品特點(diǎn)

【3D測量,一覽無余】

采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實(shí)還原樣品的每一個細(xì)節(jié)。

【功能強(qiáng)大,參數(shù)齊全】

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)。

【操作便捷,簡單明了】

直觀的操作界面,一目了然的操作流程,自動聚焦,一鍵實(shí)現(xiàn)測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測量效率高。


【高重復(fù)精度,穩(wěn)定可靠】

采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計,可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性。


【兩種型號,量身定制】

W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機(jī)型,另可針對不同的客戶需求,在兩種型號間選取不同配置進(jìn)行組合,讓儀器切合需求,貼心省力。


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【廣泛應(yīng)用,貼心服務(wù)】

可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù)……光學(xué)3D表面輪廓儀在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……


中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

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