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      9.3.13 外延缺陷∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-10 09:49 ? 次閱讀
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      審稿人：浙江大學 楊德仁

      9.3硅材料中的缺陷與雜質(zhì)

      第9章 集成電路專用材料

      《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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