在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，因?yàn)楝F(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn)，以及單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量，只有以白光干涉技術(shù)為基礎(chǔ)的3D光學(xué)表面輪廓儀能實(shí)現(xiàn)超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量，提供更高精度的檢測需求。

3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

中圖儀器SuperViewW13d表面光學(xué)輪廓儀支持自動(dòng)聚焦功能，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動(dòng)聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。 采用經(jīng)國家計(jì)量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

中圖儀器3d表面光學(xué)輪廓儀具有測量精度高、分析功能強(qiáng)大、使用方便、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。