10.4.4 定向自組裝光刻技術(shù)（DSA）∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》
Directed Self-assembly Lithography（DSA）
審稿人：北京大學(xué) 蔡一茂 楊遠程
https://www.pku.edu.cn
審稿人：北京大學(xué) 張興
10.3 集成電路新材料
第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊
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