作原理，再介紹使用于汽車(chē)的MEMS技術(shù)智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。 ??壓阻式壓力傳感器

??壓力傳感器在汽車(chē)上的使用
??壓力傳感器工作原理片面
??壓力傳感器可以廣義地分為三類(lèi)：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
??底下，本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，再介紹使用于汽車(chē)的MEMS技術(shù)智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
??壓阻式壓力傳感器

??壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應(yīng)工作的。所謂壓阻元件實(shí)際上即是指在半導(dǎo)體質(zhì)料的基片上用集成電路工藝制成的分散電阻，當(dāng)它受外力好處時(shí)，其阻值由于電阻率的變更而轉(zhuǎn)變。分散電阻平常工作時(shí)需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。

??壓阻芯片采用周邊固定的硅杯布局，封裝在外殼內(nèi)。在一塊圓形的單晶硅膜片上，安插四個(gè)分散電阻，兩片位于受壓應(yīng)力區(qū)，另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū)，它們構(gòu)成一個(gè)全橋測(cè)量電路。硅膜片用一個(gè)圓形硅杯固定，雙方有兩個(gè)壓力腔，一個(gè)和被測(cè)壓力相持續(xù)的高壓腔，另一個(gè)是低壓腔，接參考?jí)毫Γǔ：蛪捍髿饫淄?。?dāng)存在壓差時(shí)，膜片產(chǎn)生變形，使兩對(duì)電阻的阻值發(fā)生變更，電橋落空平均，其輸出電壓反映膜片雙方蒙受的壓差大小。
??現(xiàn)在，壓力傳感器是典范的汽車(chē)傳感器，它寬泛地使用在汽車(chē)上。隨后，它被寬泛地用于高壓場(chǎng)所，如懸掛壓力探測(cè)和空調(diào)制冷壓力探測(cè)?，F(xiàn)在，壓力傳感器更進(jìn)一步地?cái)U(kuò)大到了高壓場(chǎng)所，如汽油焚燒放射和柴油共軌焚燒放射系統(tǒng)。鮮明，壓力傳感器在汽車(chē)上有廣闊的開(kāi)展前景。