1平行度。

如果主軸水平不符合要求，切割后的刀槽會(huì)變寬，邊緣會(huì)嚴(yán)重坍塌。例如，NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割硅晶圓，主軸轉(zhuǎn)速3萬(wàn)r/min、劃切速度20mm/s時(shí)間。理想的刀痕為0.030～0.035mm，當(dāng)主軸打表水平等于5時(shí)μm實(shí)測(cè)刀痕為0.045mm。

2垂直度。

如果切割后工件的刀槽一側(cè)坍塌，裂紋嚴(yán)重，另一側(cè)正常，通常由于主軸垂直度不足，可根據(jù)坍塌邊緣確定主軸的仰角或俯角。

3.主軸速度。

主軸速度匹配切割速度，影響切割效果是主軸速度，理論上增加主軸速度，提高切割速度，確保固定線速度不影響切割效果，但不同速度范圍內(nèi)的主軸振動(dòng)不同，需要找到最佳組合點(diǎn)，在保證切割效果的前提下提高效率。注：選擇主軸速度時(shí)，注意工具允許的最大速度，如DISCO的PIA直徑50的系列刀具mm(2寸)刀盤(pán)時(shí)，最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盤(pán)時(shí)，最高速度<40000r/min。刀具在超過(guò)允許的最高速度時(shí)會(huì)自動(dòng)解體。