隨著我國制造業(yè)不斷邁向精密化、高端化，對檢測手段和檢測能力提出了更高的要求，作為產(chǎn)品輪廓尺寸檢測儀器的3D輪廓測量儀， Z軸的測量精度已達(dá)到微米級，以其超高的測量精度，在先進(jìn)制造領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

VJ系列3D輪廓測量儀

中圖儀器VJ系列3D輪廓測量儀，是一款用于半導(dǎo)體、3C電子、醫(yī)療器械、磁性材料、精密機(jī)械等領(lǐng)域的無接觸式掃描3D輪廓成像設(shè)備，工件無需定位，自動(dòng)識(shí)別，一鍵閃測，輕松獲得2D/3D參數(shù)。其具有能夠抑制樣品表面多重反射、漫反射所帶來影響的線激光測頭，實(shí)現(xiàn)超高精度測量。

上圖展示的是工件的三維形貌，VJ系列3D輪廓測量儀能在幾秒鐘之內(nèi)超高精度地呈現(xiàn)目標(biāo)工件的真實(shí)形狀，最后呈現(xiàn)不同顏色變化的3D圖像是軟件利用高度測量數(shù)據(jù)形成的高低差來顯示的，軟件可以選擇相應(yīng)測量面，快速得到最高點(diǎn)和最低點(diǎn)信息。

電子電路測量

VJ系列3D輪廓測量儀對電子電路樣品表面進(jìn)行掃描，溝槽輪廓一覽無余，如上圖所示，我們從圖像上提取一條剖面輪廓曲線，可以清楚地看到溝槽的輪廓曲線，此時(shí)使用輪廓分析功能對特征區(qū)域進(jìn)行高度等尺寸數(shù)據(jù)標(biāo)注。豐富的2D測量工具，可通過截面形狀對高度、寬度、角度以及R角進(jìn)行各種測量。

半導(dǎo)體產(chǎn)品測量

除2D尺寸測量外， VJ系列3D輪廓測量儀還能夠自由地對工件（如上圖半導(dǎo)體工件）進(jìn)行3D幾何運(yùn)算，例如：平面度、共面度、輪廓度等形位公差。

CNC批量測量

多工件批量測量時(shí)，軟件可以建立模板，CNC模式下，只需按下啟動(dòng)鍵，儀器即可根據(jù)工件的形狀自動(dòng)定位測量對象、匹配模板、測量評價(jià)、報(bào)表生成，真正實(shí)現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測量。

檢測報(bào)告

“沒有超精密測量，就不會(huì)有高質(zhì)量的高端裝備制造?！盫J系列3D輪廓測量儀，以其快速便捷、高效穩(wěn)定的性能助力先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展！