長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司申請(qǐng)了“半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的評(píng)估方法及裝置”的專(zhuān)利。申請(qǐng)公告日為9月8日，申請(qǐng)公告號(hào)為cn113673812b。

根據(jù)專(zhuān)利摘要，本申請(qǐng)?zhí)峁┤缦略u(píng)價(jià)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的方法及裝置：評(píng)價(jià)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的方法是：提供1個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備，半導(dǎo)體設(shè)備至少包括1個(gè)制造單元。半導(dǎo)體設(shè)備獲得按順序生產(chǎn)多個(gè)晶圓的生產(chǎn)參數(shù)，并根據(jù)生產(chǎn)參數(shù)決定連續(xù)批次生產(chǎn)結(jié)束時(shí)間之間的時(shí)間間隔。每片配置的每片晶圓獲得進(jìn)入每片生產(chǎn)單位的時(shí)間，每片配置的所有晶片決定每片生產(chǎn)單位的時(shí)間。為了測(cè)定半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)效率，測(cè)定存在時(shí)間和存在時(shí)間之間的比率。

即，迅速找出瓶頸單元，并將限制設(shè)備生產(chǎn)效率的單元和其他單元能夠提高的范圍一眼就能反映出來(lái)。