上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司11月28日公開(kāi)了本公司最新的***相關(guān)專(zhuān)利。據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開(kāi)的專(zhuān)利名稱(chēng)為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及***”，申請(qǐng)?zhí)枮閏n117130226a。

該專(zhuān)利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及***，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿其光軸方向從物面到像面依次包括：第一透鏡組、第二透鏡組、光闌、第三透鏡組與第四透鏡組。其中所述第三透鏡組與所述第二透鏡組關(guān)于所述光闌對(duì)稱(chēng)，所述第四透鏡組與所述第一透鏡組關(guān)于所述光闌對(duì)稱(chēng)，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)是對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，且所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)中所有的透鏡組均具有正光焦度，以此可以在提高成像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，可以增加曝光系統(tǒng)的場(chǎng)地大小，提高生產(chǎn)效率。

上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司成立于2002年3月，由于法定代表人干頻，經(jīng)營(yíng)范圍包括含有半導(dǎo)體設(shè)備等的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)等是上海電氣控股集團(tuán)有限公司（42.3%）、上海科技創(chuàng)業(yè)投資有限公司（14.21%）等共同投資股份。