上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及***”專利公布
上海微電子裝備（集團）股份有限公司11月28日公開了本公司最新的***相關(guān)專利。據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開的專利名稱為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及***”，申請?zhí)枮閏n117130226a。
該專利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及***，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿其光軸方向從物面到像面依次包括：第一透鏡組、第二透鏡組、光闌、第三透鏡組與第四透鏡組。其中所述第三透鏡組與所述第二透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述第四透鏡組與所述第一透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)是對稱結(jié)構(gòu)，且所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)中所有的透鏡組均具有正光焦度，以此可以在提高成像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，可以增加曝光系統(tǒng)的場地大小，提高生產(chǎn)效率。
上海微電子裝備（集團）股份有限公司成立于2002年3月，由于法定代表人干頻，經(jīng)營范圍包括含有半導(dǎo)體設(shè)備等的開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)等是上海電氣控股集團有限公司（42.3%）、上海科技創(chuàng)業(yè)投資有限公司（14.21%）等共同投資股份。
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