隨著智能電子皮膚、健康檢測、人機交互等領域的快速發(fā)展，柔性鋯鈦酸鉛（PZT）復合薄膜壓力傳感器因其出色的柔性和壓電性能而受到研究者的廣泛關注。作為先進智能裝置的重要組成部分，柔性PZT傳感器對未來機器人電子皮膚以及智慧醫(yī)療的發(fā)展有重要推動作用。

據麥姆斯咨詢報道，針對柔性PZT復合薄膜壓力傳感器的研究進展，北京信息科技大學高國偉教授團隊進行了綜述分析，闡述了柔性PZT復合薄膜壓力傳感器的工作原理、制備方法、研究現狀及典型應用，并對其未來發(fā)展進行了展望。相關研究內容以“柔性PZT復合薄膜壓力傳感器的研究進展”為題發(fā)表在《先進陶瓷》期刊上。

柔性PZT復合薄膜壓力傳感器原理與制備工藝

柔性PZT復合薄膜壓力傳感器主要由上、下電極以及中間層的PZT復合材料構成，其工作原理基于PZT復合材料的正壓電效應，當受到外界壓力擠壓時，傳感器內部發(fā)生極化現象，在上下電極表面產生符號相反、大小相等的電荷，通過測量電荷量可實現敏感信息的感知。

作為無機壓電材料的一種，PZT具有優(yōu)良的壓電性能，但易脆性和非生物相容性限制了其在智能電子皮膚和醫(yī)療健康等領域的應用。將PZT粉末與PVDF和聚二甲基硅氧烷（PDMS）等其它熱塑性聚合物結合形成壓電復合材料可有效改善PZT本身的剛硬、易脆性，其中PZT復合薄膜的制備是柔性PZT傳感器實現柔彈性的關鍵步驟，目前常用的制備方法有流延法、旋涂法、靜電紡絲法、熱壓法、溶膠-凝膠法、溶劑蒸發(fā)法等。

柔性PZT復合薄膜壓力傳感器的研究進展

基于PZT復合材料的微型換能器、聲學傳感器、柔性壓力傳感器等多種新型器件被廣泛用于電子皮膚和醫(yī)療健康等方面。其中柔性PZT復合薄膜壓力傳感器因具有高靈敏度、柔彈性等優(yōu)點被廣泛研究。在壓電性能優(yōu)化方面，研究者將PZT和有機聚合物混合制成復合材料，并從材料成分、結構創(chuàng)新等方面有效提升了柔性PZT復合薄膜傳感器的壓電性能。由于PZT壓電材料具有剛脆性，很難滿足需要大面積彎曲或貼合皮膚的應用場景。因此，近年來，PZT壓力傳感器的柔彈性優(yōu)化成為可穿戴傳感器發(fā)展的熱點。

此外，柔性PZT傳感器的集成通常需將PZT材料在柔性基底上進行集成，但制備過程中的高溫退火工藝會造成柔性基底損壞，因此研究者提出了利用無轉移激光剝離法在聚酰亞胺（PI）基板上制作PZT集成雙邊多模傳感器的策略，該研究也為多參數柔性PZT傳感器集成提供了簡單強大的集成方法，為多物理場監(jiān)測和柔性醫(yī)療裝置的開發(fā)打下了基礎。

圖1 （a）PZT/PVDF材料結構圖；（b）復合材料的工作原理

圖2 （a）PZT/PVDF材料結構圖；（b）PZT/SMPU材料結構圖

圖3 柔性PZT集成壓力和溫度傳感器

圖4 （a）集成柔性傳感器貼片；（b）傳感器等效電路；（c）集成傳感器系統(tǒng)；（d）電路集成模塊示意圖；（e）電路集成模塊實物圖

柔性PZT復合薄膜壓力傳感器的應用

近年來，柔性PZT壓力傳感器發(fā)展迅速，在智慧醫(yī)療、電子皮膚、運動檢測、人機交互等領域應用廣泛。研究者們充分利用PZT復合薄膜的高壓電性能以及高柔彈性，實現了不同領域的深層次研究發(fā)展。

圖5 （a）實時脈搏監(jiān)測系統(tǒng)；（b）傳感器等效電路；（c）10 kPa壓力下PZT的電動勢：（d）不同壓力下的輸出電壓；（e）傳感器的輸出電壓和響應時間

圖6 （a）(PU)/PZT電子皮膚；（b）PZT/PDMS陣列電子皮膚

圖7 （a）雙傳感器自供電棉襪；（b）穿戴式步態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)

圖8 基于PZT/PVDF的智能乒乓球拍

總結與展望

PZT復合薄膜制備方法的改進促使復合材料的壓電性能以及柔韌性大幅提升，通過對傳感器材料、結構的開發(fā)和改進，出現了低成本、高靈敏度、寬檢測范圍的柔性PZT壓力傳感器，促使該傳感器廣泛應用于智慧醫(yī)療、機器人電子皮膚、運動檢測以及體育訓練等多個領域。但目前柔性PZT壓力傳感器仍然面臨很多不足之處，一些技術問題仍需要深入研究。

（1）為了更好地貼合皮膚以及適應復雜的彎曲表面，需要不斷開發(fā)新型材料、創(chuàng)新結構、尋找復合材料的最佳配比、改善制備流程、降低成本，從而實現高性能、低成本的PZT復合薄膜制備方法。

（2）由PZT壓力傳感器的工作原理可知該傳感器不適合用于靜態(tài)力測量，未來可將研究方向聚焦于如何實現寬范圍的靜態(tài)力測量，為智慧醫(yī)療中微弱信號的監(jiān)測打下基礎。

（3）隨著智能感知、自供電以及微電子技術的不斷發(fā)展，將柔性PZT自供電傳感器集成在小空間內有助于便攜式可穿戴設備的應用，未來如何實現多維陣列微傳感器的高靈敏度、寬檢測限和穩(wěn)定性是研究重點。

（4）隨著柔性PZT電子器件在電子皮膚、智能監(jiān)測中的廣泛應用，可同時檢測多個物理量的多參數柔性陣列至關重要，未來多參數檢測的高靈敏度柔性PZT集成傳感器將是重點研發(fā)方向之一。

論文信息：
DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2023.10.001

審核編輯：劉清