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SJ6000激光干涉儀應(yīng)用拓展:透鏡曲率半徑測(cè)量

中圖儀器 ? 2024-04-26 08:08 ? 次閱讀
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透鏡是由透明物質(zhì)(如玻璃、水晶等)制成的一種光學(xué)元件,廣泛應(yīng)用于安防、車(chē)載、數(shù)碼相機(jī)、激光、光學(xué)儀器等各個(gè)領(lǐng)域。

曲率半徑是透鏡設(shè)計(jì)與制造的一個(gè)重要參數(shù),在生產(chǎn)制造過(guò)程中常使用菲索型激光干涉儀通過(guò)測(cè)試干涉條紋,判定“貓眼”和共焦位置,并通過(guò)光柵尺或激光干涉(測(cè)距)儀,對(duì)位移變化記錄即可獲得透鏡的曲率半徑。1c080806-0361-11ef-9118-92fbcf53809c.png

菲索型激光干涉儀測(cè)量透鏡曲率半徑的原理:1c371be6-0361-11ef-9118-92fbcf53809c.png

曲率半徑等于,“貓眼”至共焦位置(或者共焦至“貓眼”位置)的位移,加上干涉儀在兩個(gè)位置,根據(jù)干涉條紋測(cè)得精確位置補(bǔ)償,即R(曲率半徑)=Z(位移讀數(shù))+Z(貓眼位置補(bǔ)償)+Z(共焦位置補(bǔ)償)。

注:當(dāng)球面標(biāo)準(zhǔn)鏡產(chǎn)生的激光波前,正好匯聚于球面上時(shí),會(huì)產(chǎn)生特殊類(lèi)似“貓眼”的條紋,所以稱(chēng)這一位置為“貓眼”位置。

在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中,傳統(tǒng)方法使用光柵尺來(lái)記錄位移變化,光柵尺的位移分辨率為0.1um,曲率半徑測(cè)量精度不高。

如今越來(lái)越多透鏡生產(chǎn)企業(yè)使用SJ6000激光干涉儀來(lái)測(cè)量位移。SJ6000激光干涉儀以氦氖激光器為光源發(fā)射出穩(wěn)定頻率的波長(zhǎng)為長(zhǎng)度基準(zhǔn),激光穩(wěn)頻精度0.05ppm;以邁克爾遜干涉原理測(cè)量位移距離,測(cè)量分辨率1nm,遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于光柵尺分辨率。

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菲索型激光干涉儀測(cè)量曲率半徑過(guò)程中,SJ6000激光干涉儀反射鏡安裝在穩(wěn)定夾具上,高度與光源圓心等高,精準(zhǔn)記錄位移數(shù)據(jù)同時(shí)降低阿貝誤差,測(cè)得的曲率半徑值準(zhǔn)確度和一致性大幅提升。

隨著產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,對(duì)透鏡質(zhì)量要求越來(lái)越高,SJ6000激光干涉儀助力透鏡企業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,在激烈競(jìng)爭(zhēng)的市場(chǎng)中搶占先機(jī),拔得頭籌!

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