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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>白光干涉儀測(cè)量原理及干涉測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用

      白光干涉儀測(cè)量原理及干涉測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用

      2024-12-16 | docx | 313.82 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      白光干涉儀利用干涉原理測(cè)光程差，測(cè)物理量，具高精度。應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)加工、汽車零部件制造及科研等領(lǐng)域，雙重防撞保護(hù)保障測(cè)量安全。

      基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射  光最終匯聚并發(fā)生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起。通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化，就可以測(cè)量出被測(cè)表面的相關(guān)物理量。

      白光的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)：白光屬于多色光，具有連續(xù)的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內(nèi)會(huì)出現(xiàn)彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會(huì)出現(xiàn)清晰的、對(duì)比度高的干涉條紋。這一特性使得白光干涉儀在測(cè)量時(shí)能夠通過(guò)精確尋找零光程差位置來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量，對(duì)于微觀形貌的測(cè)量具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。

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