隨著科技的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體工業(yè)已經(jīng)成為現(xiàn)代信息技術(shù)社會(huì)的支柱產(chǎn)業(yè)之一。在制造過(guò)程中，每一個(gè)環(huán)節(jié)都要求極高的精確度和穩(wěn)定性，這就對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了巨大的挑戰(zhàn)。光譜共焦傳感器，作為一種新興的高精度非接觸式測(cè)量工具，正在這一領(lǐng)域中發(fā)揮越來(lái)越重要的作用。立儀科技小編在深入探討光譜共焦傳感器在半導(dǎo)體制造中的廣泛應(yīng)用及其帶來(lái)的技術(shù)革新。

光譜共焦技術(shù)的基本原理

通過(guò)控制器中的寬光譜光源發(fā)出的復(fù)色光，經(jīng)過(guò)照明孔、分光棱鏡后，被物鏡色散，最后以不同波長(zhǎng)的光投射到被測(cè)物體表面，能聚焦在表面的波長(zhǎng)光線就會(huì)反射到對(duì)應(yīng)的針孔中，最后通過(guò)表面焦點(diǎn)和圖像平面焦點(diǎn)間的共軛關(guān)系，從而計(jì)算出測(cè)距值。

揭秘半導(dǎo)體檢測(cè)新寵：立儀光譜共焦傳感器技術(shù)！

半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵應(yīng)用

1.晶圓翹曲度檢測(cè)

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，晶圓的翹曲度是一個(gè)常見(jiàn)的問(wèn)題，它直接影響到光刻過(guò)程的精準(zhǔn)度和最終產(chǎn)品的質(zhì)量。光譜共焦傳感器能夠提供高分辨率的三維形貌數(shù)據(jù)，幫助工程師準(zhǔn)確測(cè)量晶圓的翹曲程度，并進(jìn)行必要的調(diào)整以確保產(chǎn)品質(zhì)量。

2.薄膜厚度測(cè)量

半導(dǎo)體設(shè)備中經(jīng)常涉及到多層薄膜的涂覆，每層的厚度都需要嚴(yán)格控制。
光譜共焦傳感器以其納米級(jí)的測(cè)量精度，成為控制薄膜涂覆質(zhì)量的理想工具。

3.設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測(cè)

半導(dǎo)體制造設(shè)備在運(yùn)行中會(huì)產(chǎn)生微小振動(dòng)，這些振動(dòng)如果不及時(shí)校正，可能會(huì)影響產(chǎn)品的質(zhì)量。使用光譜共焦傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備的振動(dòng)狀態(tài)，確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性。

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立儀簡(jiǎn)介

立儀科技是一家光譜共焦位移測(cè)量傳感器為主的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)一體化的精密光學(xué)測(cè)量國(guó)家級(jí)專精特新企業(yè)。

專注光譜共焦行業(yè)10年

公司于2014年成立，以打造高規(guī)格的光譜共焦位移傳感器并減少成本普及推廣為志向。經(jīng)過(guò)10年行業(yè)深耕，目前光譜共焦技術(shù)產(chǎn)品在測(cè)量精度、分辨率、測(cè)量角度、穩(wěn)定性和軟件算法等方面具有行業(yè)領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)！

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突破技術(shù)封鎖

匯集光學(xué)、機(jī)械、軟件人才晝夜奮戰(zhàn)，數(shù)年磨一劍，破除國(guó)外技術(shù)封鎖，開(kāi)發(fā)出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的全球第一款入光出光獨(dú)立、全球第一款棱鏡光譜儀的光譜共焦位移傳感器等系列產(chǎn)品，并獲得了多項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專利！

自主研發(fā)，創(chuàng)新賦能

我們堅(jiān)持自我研發(fā)與創(chuàng)新，致力成為光譜共焦高精度測(cè)量行業(yè)技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者，成就國(guó)貨之光。為提供高性能產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)服務(wù)，讓科技利益眾生，賦能企業(yè)高精度制造！

審核編輯 黃宇