No.1

EBSD從原理到應(yīng)用

電子背散射衍射（EBSD）技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域中扮演著重要角色，特別是在掃描電子顯微鏡（SEM）中，它為研究者提供了一種獲取樣品晶體學(xué)信息的強(qiáng)大工具。EBSD技術(shù)不僅能夠測(cè)量晶體取向、分析晶界取向差異，還能鑒別物相和評(píng)估局部晶體的完整性。與傳統(tǒng)的金相、投射、XRD、掃描等表征方法相比，EBSD提供了更為豐富和直觀的晶粒取向信息。金鑒實(shí)驗(yàn)室擁有先進(jìn)的EBSD設(shè)備和專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，能夠?yàn)榭蛻籼峁└哔|(zhì)量的晶體取向、晶界取向差異分析以及物相鑒別服務(wù)，幫助研究者更深入地理解材料的微觀結(jié)構(gòu)。

No.2

EBSD設(shè)備與樣品準(zhǔn)備

作為SEM的附加組件，EBSD能夠提供包括晶間取向、晶界類型、再結(jié)晶晶粒、微織構(gòu)、相鑒別和晶粒尺寸測(cè)量在內(nèi)的全面分析數(shù)據(jù)。EBSD數(shù)據(jù)主要來(lái)源于樣品表面下10-50nm的區(qū)域，因此，在檢測(cè)時(shí)需要將樣品傾斜70°，以避免表面高處區(qū)域遮擋低處的信號(hào)。EBSD樣品的制備要求嚴(yán)格，需要保證樣品表面“新鮮”、清潔、平整、具有良好的導(dǎo)電性且無(wú)應(yīng)力。

No.3

EBSD的形成機(jī)制

EBSD設(shè)備通常安裝在SEM或電子探針上，樣品表面與水平面呈約70°角。當(dāng)入射電子束進(jìn)入樣品后，會(huì)與樣品內(nèi)原子發(fā)生散射，其中散射角較大的電子逃出樣品表面，這些電子稱為背散射電子。這些背散射電子在離開(kāi)樣品的過(guò)程中，與樣品的某些晶面族滿足布拉格衍射條件時(shí)會(huì)發(fā)生衍射，形成菊池帶。每條菊池帶的中心線相當(dāng)于發(fā)生布拉格衍射的晶面從樣品上電子的散射點(diǎn)擴(kuò)展后與接收屏的交截線，形成電子背散射衍射花樣（EBSP）。EBSP通過(guò)CCD數(shù)碼相機(jī)數(shù)字化后傳送至計(jì)算機(jī)進(jìn)行標(biāo)定與計(jì)算。

No.4

EBSD的應(yīng)用范圍

EBSD技術(shù)已成為金屬材料、陶瓷和地質(zhì)礦物學(xué)家分析顯微結(jié)構(gòu)及織構(gòu)的強(qiáng)有力工具。通過(guò)采集到的數(shù)據(jù)，可以繪制取向地圖、極圖和反極圖，還可以計(jì)算ODF。

1. 取向測(cè)量及取向關(guān)系分析：EBSD最直接的應(yīng)用是進(jìn)行晶粒取向的測(cè)量，研究晶界或相界、孿晶界、特殊界面等。

2. 微織構(gòu)分析：基于EBSD自動(dòng)快速的取向測(cè)量，可以進(jìn)行微織構(gòu)分析，了解這些取向在顯微組織中的分布。

3. 相鑒定：EBSD可以對(duì)七大晶系任意對(duì)稱性的樣品進(jìn)行自動(dòng)取向測(cè)量和標(biāo)定，結(jié)合EDS的成分分析進(jìn)行未知相的鑒定。

4. 真實(shí)晶粒尺寸測(cè)量：EBSD技術(shù)可以精確勾畫出晶界和李晶界，同時(shí)進(jìn)行晶粒尺寸統(tǒng)計(jì)分析。金鑒實(shí)驗(yàn)室結(jié)合EDS的成分分析，能夠?yàn)榭蛻籼峁┤娴奈粗噼b定服務(wù)，確保材料的正確應(yīng)用。

5. 應(yīng)變?cè)u(píng)定：從菊池衍射花樣的質(zhì)量可以直觀地定性分析超合金鋁合金中的應(yīng)變，識(shí)別無(wú)應(yīng)變晶粒等。

No.5

EBSD的優(yōu)勢(shì)

金鑒實(shí)驗(yàn)室在這一領(lǐng)域擁有先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，能夠快速高效地為客戶提供全面的EBSD分析服務(wù)，確保每一項(xiàng)測(cè)試結(jié)果的可靠性。

1. 提供高精度的晶體結(jié)構(gòu)分析；

2. 獨(dú)特的晶體取向分析能力；

3. 樣品制備相對(duì)簡(jiǎn)單；

4. 分析速度快，效率高；

5. 可在樣品上進(jìn)行自動(dòng)線、面分布數(shù)據(jù)點(diǎn)采集。

No.6

EBSD樣品的制備要求

EBSD樣品的制備要求嚴(yán)格，金鑒實(shí)驗(yàn)室在樣品制備方面具備豐富的經(jīng)驗(yàn)，能夠確保樣品達(dá)到最佳檢測(cè)條件，滿足各種實(shí)驗(yàn)需求。

1. 試樣尺寸約為10mm×10mm×10mm；

2. 檢測(cè)面要新鮮、清潔、平整、無(wú)制樣引入的應(yīng)力，且導(dǎo)電性能良好；

3. 需要絕對(duì)取向時(shí)外觀坐標(biāo)要準(zhǔn)確；

4. 用電解法拋光樣品，研究晶界時(shí)可以不浸蝕；

5. 保持檢測(cè)面法線和入射電子束之間的夾角約為70°。

No.7

EBSD常見(jiàn)問(wèn)題解答

金鑒實(shí)驗(yàn)室針對(duì)常見(jiàn)問(wèn)題提供專業(yè)解答，確?？蛻粼谑褂肊BSD技術(shù)時(shí)能夠獲得最佳體驗(yàn)。無(wú)論是陶瓷樣品的制備還是數(shù)據(jù)提取，金鑒實(shí)驗(yàn)室都能提供切實(shí)可行的解決方案，助力客戶在材料科學(xué)研究中取得成功。

1. 陶瓷樣品導(dǎo)電性不好，如何制EBSD樣？

答：采用機(jī)械拋光或離子束拋光的方式制樣。

2. EBSD主要用來(lái)干什么？

答：織構(gòu)和取向差分析；晶粒尺寸及形狀分布分析；晶界、亞晶及孿晶界性質(zhì)分析；應(yīng)變和再結(jié)晶的分析；相簽定及相比計(jì)算等。

3. 陶瓷不導(dǎo)電也可以電解拋？

答：不能電解拋光。

4. 如何提取數(shù)據(jù)？

答：使用廠家提供的分析軟件或開(kāi)發(fā)者編寫的專用軟件來(lái)分析數(shù)據(jù)。

5. EBSD還能看物相分布？

答：EBSD能進(jìn)行物相鑒別，可以分析物相分布。EBSD技術(shù)以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，已成為材料科學(xué)研究中不可或缺的工具，尤其在晶體學(xué)、微觀結(jié)構(gòu)分析和織構(gòu)研究領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用潛力。金鑒作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的光電半導(dǎo)體檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室，金鑒實(shí)驗(yàn)室的EBSD技術(shù)，以其高效的速度和精準(zhǔn)的分辨率，在材料表征領(lǐng)域中展現(xiàn)出卓越的性能，為材料科學(xué)研究提供了強(qiáng)有力的工具。