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硅晶棒產(chǎn)率提升措施

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:學(xué)習(xí)那些事 ? 2024-11-27 10:56 ? 次閱讀

???主要回答以下兩個問題:加大硅芯直徑對產(chǎn)率有什么影響?加大硅棒的最終直徑對產(chǎn)率有什么影響?

硅晶棒是晶體管、集成電路以及太陽能電池生產(chǎn)中不可或缺的原料,本對其生產(chǎn)做出討論,主要回答以下兩個問題: 加大硅芯直徑對產(chǎn)率有什么影響 加大硅棒的最終直徑對產(chǎn)率有什么影響

硅芯直徑對產(chǎn)率的影響

加大硅芯直徑是降低多晶硅生產(chǎn)成本的有效途徑。 硅芯(載體芯)直徑D1對產(chǎn)率的影響主要體現(xiàn)在以下幾個方面: 凈產(chǎn)量與毛產(chǎn)量的差值

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從理論公式來看,硅棒生長前(載體芯)D1的外徑越大,多晶硅的毛產(chǎn)量與凈產(chǎn)量M1的差值確實會越大。這是因為硅芯本身是預(yù)先成型后裝入還原爐的,不是在該爐制備出的產(chǎn)品,所以在計算凈產(chǎn)量時需要減去硅棒芯部的重量。 單位時間內(nèi)的產(chǎn)率 然而,從提高產(chǎn)率的角度來看,加大硅芯直徑D1是有益的。因為在還原爐里,最初還原生成的多晶硅是沉積在載體芯的外表面上的,且單位時間內(nèi)的厚度沉積速率基本相同。因此,載體芯的直徑D1越大,最初時的多晶硅沉積量就越大,從而提高了平均每小時的多晶硅產(chǎn)量。 生產(chǎn)成本 加大硅芯直徑D1還可以降低多晶硅的生產(chǎn)成本。這是因為使用較大直徑的硅芯可以減少還原爐的使用數(shù)量或提高單個還原爐的產(chǎn)能,從而降低設(shè)備投資、運維成本以及能耗等。 實際生產(chǎn)效果

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實際上,從表中的數(shù)據(jù)可以看出,當(dāng)載體芯直徑D1從5mm增加到100mm時,多晶硅凈產(chǎn)量M1可以顯著增加。這意味著在同等條件下,采用較大直徑載體芯的還原爐可以頂替多臺采用較小直徑載體芯的還原爐來使用,從而大大提高了生產(chǎn)效率。 綜上,加大硅芯直徑D1雖然會導(dǎo)致毛產(chǎn)量與凈產(chǎn)量的差值增大,但從提高單位時間內(nèi)的產(chǎn)率和降低生產(chǎn)成本的角度來看,這是一個非常有效的途徑。因此,在實際生產(chǎn)中,可以根據(jù)具體情況適當(dāng)加大硅芯的直徑以提高多晶硅的產(chǎn)量和降低生產(chǎn)成本。

硅棒最終直徑對產(chǎn)率的產(chǎn)率?

加大硅棒的最終直徑(D2)對產(chǎn)率有顯著影響,這主要體現(xiàn)在以下幾個方面: 提高多晶硅產(chǎn)量 硅棒的最終直徑D2直接決定了每爐多晶硅的毛產(chǎn)量。在還原爐內(nèi)硅棒的全長L、多晶硅的密度ρ及圓周率π等條件一定的情況下,硅棒的最終直徑D2與多晶硅的毛產(chǎn)量M2成正比關(guān)系。因此,加大硅棒的最終直徑D2可以直接提高多晶硅的產(chǎn)量。 優(yōu)化生產(chǎn)效率 延長生產(chǎn)時間:通過延長每爐的生產(chǎn)時間t,可以進一步加大硅棒的最終直徑D2。雖然生產(chǎn)時間的延長不一定與硅棒直徑的增長成正比,但平均每小時的多晶硅產(chǎn)量會顯著提高。這是因為隨著硅棒直徑的增大,其表面積也增大,使得單位時間內(nèi)多晶硅的沉積量增加。 提高沉積速率:在保持其他條件不變的情況下,提高厚度沉積速率也可以加大硅棒的最終直徑D2,并進一步提高平均每小時的多晶硅產(chǎn)量。 降低生產(chǎn)成本 加大硅棒的最終直徑D2還可以在一定程度上降低生產(chǎn)成本。這是因為: 減少還原爐使用數(shù)量:在總產(chǎn)量一定的情況下,使用較大直徑硅棒的還原爐可以減少還原爐的使用數(shù)量,從而降低設(shè)備投資和維護成本。 提高設(shè)備利用率:較大直徑的硅棒可以更有效地利用還原爐的空間,提高設(shè)備的利用率和產(chǎn)能。 注意事項 雖然加大硅棒的最終直徑D2對產(chǎn)率有積極影響,但在實際操作中還需要注意以下幾點: 保證原料純度:原料的純度對硅棒的生長和最終直徑有重要影響。如果原料中含有雜質(zhì)或不合格成分,可能會導(dǎo)致硅棒生長異?;蛲t。 控制工藝條件:還原的工藝條件如溫度、壓力、氣體流量等也會影響硅棒的生長和最終直徑。因此,需要嚴(yán)格控制這些工藝條件以確保硅棒的正常生長。 防止倒棒和“爆米花”現(xiàn)象:隨著硅棒直徑的增大,流場和溫度場可能會變得更加均勻,但在某些情況下也可能出現(xiàn)倒棒或“爆米花”形式的硅沉積現(xiàn)象。這些現(xiàn)象會對生產(chǎn)帶來危害和經(jīng)濟損失,因此需要采取相應(yīng)的措施進行預(yù)防和解決。 加大硅棒的最終直徑D2是提高多晶硅產(chǎn)率、優(yōu)化生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本的有效途徑。但在實際操作中需要注意原料純度、工藝條件以及防止可能出現(xiàn)的生產(chǎn)問題。

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原文標(biāo)題:硅晶棒產(chǎn)率提升措施

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