簡(jiǎn)單介紹FIB機(jī)臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

首先，讓我們看一下FIB機(jī)臺(tái)的外觀圖

接下來，我們將FIB從中線剖開，是下圖這個(gè)樣子：

什么是雙束聚焦離子束顯微鏡？

即同時(shí)具有電子束與離子束。

離子束（FIB）用于切割，電子束（SEM）用于拍照，這樣就可以對(duì)樣品同時(shí)進(jìn)行切割和拍照。SEM豎直安裝，F(xiàn)IB傾斜安裝，兩者的夾角為52°。SEM 的放大倍數(shù)最高可達(dá) 100 萬倍，彌補(bǔ)了單束FIB成像分辨率較低的缺點(diǎn)。

Manipulator：操控器，精確定位樣品或拾取微小的加工部件。

ETD：二次電子檢測(cè)器，用于檢測(cè)樣品表面的二次電子信號(hào)，形成高分辨率的表面形貌圖像

BSE Detector：背散射電子探測(cè)器，用于檢測(cè)背散射電子信號(hào)，背散射電子信號(hào)強(qiáng)度與樣品的原子序數(shù)相關(guān)，適合用于觀察材料的成分分布或原子序數(shù)對(duì)比。

Gas Injection System：GIS，氣體注入系統(tǒng)，向加工區(qū)域注入氣體，用于輔助刻蝕或沉積。

EDS Detector:能量色散X射線探測(cè)器,主要用于分析樣品的元素組成成分。

EBSD Detector：電子背散射衍射探測(cè)器，主要用于獲取樣品的晶體結(jié)構(gòu)、取向和應(yīng)力等。

單束的聚焦離子束內(nèi)部構(gòu)成？

Liquid Metal Ion Source：液態(tài)金屬離子源

Condenser Lens ：聚光透鏡，將離子束預(yù)先聚焦，以提升束流密度。

Beam Selective Aperture：束選擇孔徑，選擇離子束的直徑和角度，過濾不必要的離子，通過更換不同直徑的孔徑，可以控制最終束斑尺寸。

Quadrupole ：四極透鏡，調(diào)節(jié)離子束的形狀，提升束流的方向性和均勻性。

Blanking Plates：遮擋板，遮擋板通過施加電場(chǎng)，偏轉(zhuǎn)離子束以阻止其照射到樣品上，在不需要加工時(shí)避免離子束的無效曝光，快速打開或關(guān)閉離子束。

Octupole：八極透鏡，用于校正高階像差，確保離子束的高精度聚焦能力。

Objective Lens：物鏡，調(diào)整離子束束斑的大小和形狀。