半導(dǎo)體制造潔凈室防微振基座foundation之技術(shù)介紹

按照《廠房樓蓋抗微振設(shè)計規(guī)范》GB50190-93及《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》 GB 51076-2015相關(guān)要求，梳理相關(guān)結(jié)構(gòu)防微振措施，如下

一、結(jié)構(gòu)布置及設(shè)備布置相關(guān)要求

主體結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計應(yīng)符合下列要求：

1， 集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器件制造廠房、光伏太陽能制造廠房、納米科技建筑及各類實驗室等建筑宜采用小跨度柱網(wǎng)，工藝設(shè)備層平臺宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)。平臺與周圍結(jié)構(gòu)之間宜設(shè)隔振縫。
2 防微振工藝設(shè)備層平臺的設(shè)計應(yīng)符合下列要求：
（1）平臺下的柱網(wǎng)尺寸應(yīng)以0.6m為模數(shù)，跨度不宜大于6m；
（2）平臺宜采用現(xiàn)澆鋼筋混凝土梁板式或井式樓蓋結(jié)構(gòu)，亦可采用鋼框架組合樓板結(jié)構(gòu)；
（3）混凝土平臺的現(xiàn)澆梁、板、柱截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-1的規(guī)定；

（4）采用鋼框架-組合樓板結(jié)構(gòu)的防微振工藝設(shè)備層平臺，次梁間距不宜大于3.2m，鋼梁、組合樓板截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-3的規(guī)定；

（5）防微振工藝設(shè)備層平臺華夫板的開孔率應(yīng)滿足潔凈設(shè)計要求，不宜大于30％。
3，當(dāng)采用混凝土結(jié)構(gòu)的建筑物超長時，不宜設(shè)置伸縮縫，而應(yīng)采用超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計技術(shù)，并應(yīng)采取降低溫度伸縮應(yīng)力的措施。

4，根據(jù)防微振需要，可在平臺下的部分柱間設(shè)置鋼筋混凝土防微振墻，墻體宜縱橫向?qū)ΨQ布置，厚度不宜小于250mm，墻體不宜開設(shè)孔洞。
6，當(dāng)屋蓋多跨結(jié)構(gòu)的中柱與工藝設(shè)備層平臺之間設(shè)縫時，在非地震區(qū)，縫寬不應(yīng)小于50mm；在地震區(qū)，縫寬不應(yīng)小于100mm，且應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑抗震設(shè)計規(guī)范》GB 50011中防震縫的有關(guān)規(guī)定。

6.精密設(shè)備及儀器的獨立基礎(chǔ)設(shè)計應(yīng)符合下列要求：
（1）地面上設(shè)置的精密設(shè)備及儀器，基礎(chǔ)底面應(yīng)置于堅硬土層或基巖上。其他地質(zhì)情況下，應(yīng)采用樁基礎(chǔ)或人工處理復(fù)合地基；
（2）精密設(shè)備及儀器受中低頻振動影響敏感時，基礎(chǔ)周圍可不設(shè)隔振溝；
（3）精密設(shè)備及儀器的基臺采用框架式支承時，宜采用鋼筋混凝土框架，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，其周邊應(yīng)設(shè)隔振縫；
（4）工藝設(shè)備層平臺上設(shè)置的精密設(shè)備或儀器宜采用防微振基臺，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，厚度不宜小于200mm。
7.有抗微振要求的多層廠房，設(shè)備的布置應(yīng)符合下列規(guī)定∶（1）廠房中有強(qiáng)烈振動的設(shè)備或?qū)φ駝雍苊舾械脑O(shè)備和儀器。宜布置在廠房底層；

（2）廠房中有較大振動的設(shè)備或?qū)φ駝用舾械脑O(shè)備和儀器，宜靠近承重墻、框架梁及柱等樓蓋局部剛度較大的部位布置；（3）廠房內(nèi)同時布置有較大振動的設(shè)備和對搬動敏感的設(shè)備、儀器時，宜分類集中，分區(qū)布置，并利用廠房變形縫分隔；

（3）對振動敏感的設(shè)備和儀器，應(yīng)遠(yuǎn)離有較大振動的設(shè)備；（5）廠房中有水平擾力較大的設(shè)備的，宜使其擾力方向與廠房結(jié)構(gòu)水平剛度較大的方向一致。

8,多層廠房中設(shè)有對振動敏感的設(shè)備和儀器時，不宜設(shè)置吊車。

9,廠房底層設(shè)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備時，應(yīng)設(shè)置獨立基礎(chǔ)，并應(yīng)與廠房基礎(chǔ)脫開。

二：計算要求

按照廠房樓蓋抗微振設(shè)計規(guī)范GB50190-93相關(guān)規(guī)定進(jìn)行自振頻率及豎向振動加速度驗算。

二、構(gòu)造要求
1、砌體結(jié)構(gòu)通用規(guī)范 GB 55007-2021中關(guān)于存在振動時結(jié)構(gòu)中砌體相關(guān)規(guī)定3.2.9、下列部位或環(huán)境中的填充墻不應(yīng)使用輕骨料混凝土小型空心砌塊或蒸壓加氣混凝土砌塊砌體：

（1）建（構(gòu)）筑物防潮層以下墻體；
（2）長期浸水或化學(xué)侵蝕環(huán)境；
（3）砌體表面溫度高于80℃的部位；
（4)長期處于有振動源環(huán)境的墻體。

(5)廠房、倉庫、食堂籌空曠單層房屋應(yīng)按下列規(guī)定設(shè)置圈梁：
磚砌體結(jié)構(gòu)房屋，檐口標(biāo)高為5m~8m時，應(yīng)在檐口標(biāo)高處設(shè)置一道圈梁，檐口標(biāo)高大于8m時，應(yīng)增加設(shè)置數(shù)量；
砌塊及料石砌體結(jié)構(gòu)房屋，檐口標(biāo)高為4m～5m時，應(yīng)在檐口標(biāo)高處設(shè)置一道圈梁，檐口標(biāo)高大于5m時，應(yīng)增加設(shè)置數(shù)量；
對有吊車或較大振動設(shè)備的單層工業(yè)房屋，當(dāng)未采取有效的隔振措施時，除應(yīng)在檐口或窗頂標(biāo)高處設(shè)置現(xiàn)澆混凝土圈梁外，尚應(yīng)增加設(shè)置數(shù)量。