一、無錫泓川科技（國產(chǎn)品牌，性價比高）

無錫泓川科技有限公司專注于光學(xué)測量與檢測領(lǐng)域，其核心產(chǎn)品LTC系列光譜共焦位移傳感器以高精度、強(qiáng)適應(yīng)性為特色。該系列具備亞微米級測量精度（最小靜態(tài)噪聲僅3nm）、±60°超大測量角度及30kHz高速采樣能力，可精準(zhǔn)測量鏡面、透明/多層材料、深孔內(nèi)壁等復(fù)雜表面，并支持薄膜厚度檢測。

產(chǎn)品涵蓋超精密型、緊湊型等多樣化型號，量程從±0.05mm至±25mm，滿足工業(yè)場景中模具磨損檢測、晶圓定位、曲面屏掃描等需求。配套控制器支持多通道同步測量（最高16通道）及多種工業(yè)接口（EtherCAT/USB/模擬量等），適配自動化產(chǎn)線集成。

通過定制化光學(xué)優(yōu)化與雜散光抑制技術(shù)，LTC系列在手機(jī)屏幕檢測、醫(yī)療玻璃管測厚等場景展現(xiàn)卓越性能，成為精密制造領(lǐng)域的高效解決方案。

1、產(chǎn)品系列概覽

類別	典型型號	核心特點(diǎn)	適用場景
超精密測量	LTC100B/LTC400	0.03μm精度，IP67防護(hù)	半導(dǎo)體晶圓檢測、光學(xué)元件測量
工業(yè)通用型	LTC2000/LTC6000	1-50mm量程，±0.6μm線性誤差	3C產(chǎn)品裝配、精密機(jī)械制造
大范圍測量	LTC50000	100±25mm量程，φ50μm光斑	汽車零部件、金屬加工
特殊結(jié)構(gòu)型	LTCR1500/LTCR5000	90°側(cè)向出光，φ3.8mm微型探頭	深孔/內(nèi)壁測量、微型結(jié)構(gòu)檢測
高速動態(tài)測量	LTC7000系列	20kHz采樣率，抗振動設(shè)計	動態(tài)生產(chǎn)線監(jiān)測

2、關(guān)鍵性能指標(biāo)

測量精度：

分辨率：3nm（LTC100B）

線性誤差：±0.03%F.S.（行業(yè)領(lǐng)先）

環(huán)境適應(yīng)性：

工作溫度：0-50℃（<0.03%F.S./℃溫漂）

防護(hù)等級：IP40/IP67可選

光斑特性：

最小φ1.7μm（微結(jié)構(gòu)檢測）

QUAD四光斑技術(shù)（消除表面粗糙影響）

系統(tǒng)響應(yīng)：

最高30kHz采樣率（LT-CCH控制器）

支持16通道同步測量

3、智能控制系統(tǒng)

LT-C系列控制器：

多協(xié)議接口：EtherCAT/Profinet（工業(yè)4.0兼容）

同步觸發(fā)：支持ABZ編碼器輸入（≤4MHz）

數(shù)據(jù)輸出：

模擬量：±10V/4-20mA

數(shù)字量：Modbus TCP/RS485

軟件生態(tài)：

TSConfocalStudio專業(yè)測控軟件

C++/C# SDK開發(fā)包

二、CHUANTEC（國產(chǎn)品牌）

Chuantec深耕光學(xué)測量技術(shù)，以非接觸式高精度檢測為核心，產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體、3C電子、汽車制造、醫(yī)療器械等領(lǐng)域，提供從傳感器到系統(tǒng)集成的全鏈條解決方案。

HCY系列產(chǎn)品亮點(diǎn)

靈活配置

光斑可選：A型（小光斑）適用于微米級細(xì)節(jié)檢測（如芯片劃痕、精密部件輪廓），B型（大光斑）適配粗糙表面或快速掃描場景。

通道擴(kuò)展：支持一拖一（HCY501）與一拖二（HCY502）模式，實(shí)現(xiàn)單探頭獨(dú)立測量或多探頭同步檢測，提升產(chǎn)線效率。

高精度與穩(wěn)定性

基于4096次平均測試優(yōu)化參考距離，降低隨機(jī)噪聲，確保數(shù)據(jù)重復(fù)性精度達(dá)亞微米級。

適應(yīng)鏡面、透明/多層材料、深孔內(nèi)壁等復(fù)雜表面檢測。

工業(yè)級設(shè)計

緊湊型結(jié)構(gòu)（如HCY01045、HCY04025等型號）適配狹小空間安裝，抗振動與電磁干擾，滿足車間嚴(yán)苛環(huán)境。

應(yīng)用場景

3C電子：手機(jī)屏幕玻璃厚度、曲面屏弧度檢測。

半導(dǎo)體：晶圓翹曲度、封裝膠層均勻性測量。

汽車制造：發(fā)動機(jī)缸體內(nèi)部尺寸、精密齒輪跳動量檢測。

典型型號示例

型號	特點(diǎn)	適用場景
HCY501A	小光斑單探頭，精度優(yōu)先	微觀缺陷檢測、薄膜測厚
HCY502B	大光斑雙探頭，高效同步	產(chǎn)線多工位并行測量
HCY03560	中量程緊湊設(shè)計，抗干擾性強(qiáng)	機(jī)械部件磨損監(jiān)控、內(nèi)壁檢測

技術(shù)優(yōu)勢

多兼容接口：支持工業(yè)現(xiàn)場總線（如EtherCAT）、模擬量輸出，無縫對接PLC及自動化系統(tǒng)。

定制化服務(wù)：提供光斑尺寸、量程、探頭角度的非標(biāo)定制，適配特殊檢測需求。

三、拓普儀器（國產(chǎn)品牌）

旗下推出的高精度測量設(shè)備，采用彩色激光光譜共焦技術(shù)，具備以下核心優(yōu)勢：

卓越性能

分辨率達(dá)5nm，線性度±0.02%F.S.，光斑最小僅7μm，適用于微米級精密測量。

支持透明/非透明材料的位移、厚度及多層結(jié)構(gòu)測量（如玻璃、晶圓），可實(shí)時輸出TTV、粗糙度等數(shù)據(jù)。

靈活適配
提供多型號測頭（如grook-Fc量程±1800μm，grook-Fd量程±5500μm），適應(yīng)不同安裝距離（13.2mm至36.5mm）和傾角（最高±45°），滿足孔內(nèi)、側(cè)壁等復(fù)雜場景。

智能集成

內(nèi)置以太網(wǎng)通訊（4.5kHz采樣）、5路I/O接口及編碼器同步功能，可直接連接PLC實(shí)現(xiàn)自動化控制。

獨(dú)創(chuàng)grook-- Pro軟件，簡化編程流程，支持可視化觀測光斑位置，提升開發(fā)效率。

行業(yè)突破

動態(tài)穩(wěn)定性較常規(guī)型號提升4倍，光強(qiáng)波動降低90%，無外貿(mào)管制限制。

可測厚度范圍覆蓋20μm至16.5mm，支持中空層、夾膠玻璃等復(fù)雜結(jié)構(gòu)分析。

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體晶圓檢測、鏡片厚度測量、3D表面輪廓掃描、工業(yè)在線質(zhì)檢等，助力高精度制造與科研創(chuàng)新。

四、基恩士KEYENCE（進(jìn)口品牌）

基恩士（KEYENCE）是全球領(lǐng)先的工業(yè)自動化設(shè)備制造商之一，其光譜共焦傳感器（Chromatism Confocal Sensor）是一種基于光譜共焦原理的高精度非接觸式測量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于工業(yè)檢測、精密測量和表面輪廓分析等領(lǐng)域。以下是關(guān)于該技術(shù)的詳細(xì)介紹：

1.光譜共焦技術(shù)原理

光譜共焦技術(shù)利用光的波長特性進(jìn)行測量。其核心原理是：

波長編碼聚焦：傳感器發(fā)射包含多種波長的白光，通過特殊透鏡（色差透鏡）使不同波長的光聚焦在不同位置上。

反射光分析：當(dāng)光線照射到被測物體表面時，只有特定波長的光會反射回傳感器。通過分析反射光的波長，即可確定物體表面到傳感器的距離。

高精度定位：由于每個波長對應(yīng)唯一焦點(diǎn)位置，測量精度可達(dá)微米（μm）甚至納米（nm）級。

2.基恩士光譜共焦傳感器的特點(diǎn)

非接觸測量：無需接觸被測物體，避免因接觸造成的損傷或誤差。

高精度：分辨率可達(dá)0.01 μm，適用于超精密檢測（如半導(dǎo)體、光學(xué)元件）。

多材質(zhì)兼容性：

可測量透明材料（玻璃、樹脂）、高反光表面（金屬、鏡面）、多層材料等傳統(tǒng)傳感器難以處理的物體。

抗干擾能力強(qiáng)：不受環(huán)境光、振動或表面顏色影響。

高速測量：部分型號支持每秒數(shù)千次的測量速度，適用于動態(tài)檢測場景。

緊湊設(shè)計：傳感器體積小巧，易于集成到自動化生產(chǎn)線或復(fù)雜設(shè)備中。

3.典型應(yīng)用場景

透明材料檢測：測量玻璃厚度、樹脂涂層、薄膜等。

鏡面表面測量：金屬拋光面、鏡面缺陷檢測。

3D輪廓分析：復(fù)雜曲面、微小結(jié)構(gòu)（如芯片焊點(diǎn)、微機(jī)械零件）的形貌測量。

在線質(zhì)量控制：實(shí)時監(jiān)測生產(chǎn)過程中的尺寸、平整度或間隙。

半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓厚度、光刻膠層測量等。

4.基恩士產(chǎn)品的優(yōu)勢

技術(shù)成熟：基恩士在光譜共焦領(lǐng)域擁有多項專利，傳感器穩(wěn)定性和重復(fù)性優(yōu)異。

用戶友好：配備直觀的軟件界面，支持快速校準(zhǔn)和數(shù)據(jù)可視化。

定制化解決方案：可根據(jù)客戶需求提供不同量程、精度和安裝方式的型號（如CL系列）。

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：基恩士提供快速技術(shù)支持與售后服務(wù)，確保設(shè)備高效運(yùn)行。

5.技術(shù)參數(shù)示例（以CL-3000系列為例）

測量范圍：0.1 mm – 30 mm（依型號不同）

分辨率：0.01 μm

測量頻率：最高70 kHz

適用材質(zhì)：金屬、玻璃、陶瓷、塑料等。

六、德國米銥

德國米銥公司（Micro-Epsilon）是一家專注于高精度傳感器技術(shù)的全球領(lǐng)先企業(yè)，成立于1968年，總部位于德國奧爾興（Ortenburg）。其光譜共焦傳感器（Chromatographic Confocal Sensor）以非接觸式、高精度和適應(yīng)復(fù)雜表面的測量能力著稱，以下是confocalDT系列詳細(xì)介紹：

1.技術(shù)原理

光譜共焦傳感器基于共焦成像和光譜分析技術(shù)：

共焦原理：通過特殊透鏡將多波長光聚焦到被測表面，僅焦點(diǎn)處的反射光被檢測器接收，其他位置的光被過濾。

光譜分析：不同波長的光對應(yīng)不同焦點(diǎn)位置，通過分析反射光的波長，精確計算物體表面位置或厚度。

2.核心優(yōu)勢

超高精度：分辨率可達(dá)納米級（如0.01μm），適合微米級精密測量。

非接觸測量：避免傳統(tǒng)接觸式測頭對脆弱材料的損傷。

復(fù)雜表面適應(yīng)：可測透明、鏡面、高反光、多層材料（如玻璃、薄膜、金屬）。

高速測量：部分型號采樣率可達(dá)數(shù)十kHz，適用于動態(tài)檢測。

抗干擾性強(qiáng)：對環(huán)境光、振動不敏感，適合工業(yè)現(xiàn)場。

3.典型應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)制造：半導(dǎo)體晶圓厚度測量、3C產(chǎn)品屏幕檢測、精密零部件尺寸控制。

醫(yī)療與科研：生物樣本厚度分析、光學(xué)元件表面形貌測量。

自動化：機(jī)器人引導(dǎo)定位、在線質(zhì)量監(jiān)控。

特殊場景：高溫、振動環(huán)境下的測量（如金屬加工、汽車制造）。

4.米銥光譜共焦產(chǎn)品線

米銥提供多種型號，例如：

confocalDT系列：緊湊型設(shè)計，適合集成到自動化系統(tǒng)。

高動態(tài)型：針對快速運(yùn)動物體（如旋轉(zhuǎn)部件）優(yōu)化。

定制化方案：支持特殊量程、多探頭同步等需求。

5.對比其他技術(shù)

特性	光譜共焦	激光三角測量	接觸式測頭
精度	納米級	微米級	微米級
被測材料	透明/鏡面/多層	漫反射表面	硬質(zhì)材料
測量速度	高速（kHz級）	中高速	低速
接觸性	非接觸	非接觸	接觸

七、歐姆龍（進(jìn)口品牌）歐姆龍品牌我就沒必要做過多介紹了吧。。。。

核心技術(shù)：白光共焦原理

原理：通過OCFL（歐姆龍色差焦點(diǎn)透鏡）將白光按波長聚焦于不同位置，僅接收工件表面反射的特定波長，通過分光器轉(zhuǎn)換為距離信息。

優(yōu)勢：

同軸測量：投光與受光同軸，避免傳統(tǒng)激光三角測距法的位置偏移問題。

高適應(yīng)性：支持粗糙表面、鏡面、斜面、曲面、透明物體及微小結(jié)構(gòu)（如薄膜厚度低至15μm）的穩(wěn)定測量。

抗干擾性：抑制多重反射光影響，提升測量穩(wěn)定性。

產(chǎn)品系列與核心型號

系列	ZW-8000（超高精度）	ZW-7000（超高速）	ZW-5000（標(biāo)準(zhǔn)型）
分辨率	2nm（靜態(tài)）	4nm	10nm
測量周期	60μs	20μs（業(yè)內(nèi)領(lǐng)先）	500μs
角度特性	±25°（鏡面/斜面）	±25°	±25°
適用場景	透明物體、微小結(jié)構(gòu)	高速移動粗糙表面	常規(guī)在線檢測

傳感頭多樣化設(shè)計

類型：方型直線型、筆型直線型、筆型直角型，適應(yīng)不同安裝空間。

關(guān)鍵參數(shù)：

光點(diǎn)直徑：最小φ4μm（ZW-S8010），精準(zhǔn)測量微米級特征。

重量：輕至27g（筆型），適合狹小空間集成。

耐彎曲電纜：彎曲半徑R20mm，支持移動部件應(yīng)用（如機(jī)械臂）。

核心應(yīng)用場景

消費(fèi)電子

手機(jī)玻璃蓋板平整度檢測、芯片高度測量、按鍵段差分析。

汽車制造

電池平整度、電機(jī)鐵芯厚度、離合器摩擦材料形狀檢測。

半導(dǎo)體/FPD

晶圓高度、焊錫形狀、透明薄膜厚度測量。

工業(yè)自動化

涂膠高度監(jiān)控、機(jī)器人軌跡同步、狹小空間內(nèi)徑測量。

八、普雷茨特Precitec（進(jìn)口品牌）普雷茨特（Precitec）成立于1971年，總部位于德國，是全球領(lǐng)先的高精度光學(xué)測量與激光加工技術(shù)解決方案供應(yīng)商。品牌以創(chuàng)新為核心，專注于為工業(yè)制造提供非接觸式光學(xué)傳感器及智能化激光加工系統(tǒng)，覆蓋消費(fèi)電子、半導(dǎo)體、汽車、醫(yī)療、玻璃制造等關(guān)鍵領(lǐng)域。（這個品牌就一個字 貴！，但是疑難雜癥只有他能解決）

1、普雷茨特的光譜共焦傳感器基于光學(xué)色散原理，通過白光光源分光形成不同波長的焦點(diǎn)沿光軸分布。傳感器接收物體反射的光信號后，利用光譜儀分析波長與位置的對應(yīng)關(guān)系，實(shí)現(xiàn)納米級分辨率測量。相比傳統(tǒng)三角反射法，其優(yōu)勢包括：

無死角：同軸光路設(shè)計，避免遮擋陰影。

小光斑：全量程保持極小光斑（最小1.7μm），適合微結(jié)構(gòu)檢測。

高適應(yīng)性：可測透明、反射、粗糙、多層材料，如玻璃、金屬、半導(dǎo)體等。

2、核心產(chǎn)品系列

1. CHRocodile C/C HS系列

特點(diǎn)：緊湊一體式設(shè)計（尺寸99×65×47mm），集成探頭與控制器，支持多點(diǎn)測厚（最多4個峰值）。

參數(shù)：

測量速度：最高10kHz。

分辨率：8nm（200μm探頭）。

探頭可選：200μm至10mm量程，適應(yīng)不同精度需求。

應(yīng)用：消費(fèi)電子（手機(jī)間隙檢測）、半導(dǎo)體晶圓厚度測量。

2. CHRocodile CLS系列線傳感器

特點(diǎn)：高速3D輪廓掃描，最高6,000線/秒，每線192點(diǎn)。

參數(shù)：

量程：0.2mm至6mm（探頭可選）。

分辨率：Z軸20nm，橫向1μm（CLS 0.2探頭）。

應(yīng)用：手機(jī)蓋板玻璃平整度、鏡頭曲面檢測。

3. CHRocodile MPS多點(diǎn)傳感器

MPS 2L：24點(diǎn)同步測量（12點(diǎn)/線），適合玻璃容器側(cè)壁厚度在線檢測。

MPS 96：96通道獨(dú)立測量，速度2,000點(diǎn)/秒，適用于復(fù)雜幾何形貌分析。

4.干涉法傳感器（CHRocodile 2 IT系列）

技術(shù)：結(jié)合紅外干涉，實(shí)現(xiàn)納米級膜層厚度測量。

應(yīng)用：晶圓、多層塑料膜、液體涂層檢測。

優(yōu)勢：支持水下或油污環(huán)境測量，抗振動干擾。

3、關(guān)鍵優(yōu)勢

超高精度：Z軸分辨率達(dá)納米級（如CLS 0.2探頭20nm），線性精度±0.08μm。

高速測量：最高66kHz采樣率（CHRocodile 2 SE），滿足產(chǎn)線實(shí)時監(jiān)控需求。

靈活適配：模塊化探頭設(shè)計，支持更換不同量程和NA值的探頭（如10mm探頭角度特性±14°）。

多材料兼容：透明/不透明、高反/漫反射表面均可穩(wěn)定測量。

工業(yè)級可靠性：IP50防護(hù)，工作溫度0-50℃，無移動部件，免維護(hù)。

4、典型應(yīng)用場景

消費(fèi)電子：手機(jī)玻璃蓋板平整度、攝像頭模組段差檢測。

半導(dǎo)體：晶圓厚度、CMP工藝實(shí)時監(jiān)控。

汽車：焊接凸點(diǎn)高度、儀表板安全氣囊涂層檢測。

玻璃制造：瓶身厚度均勻性、微小缺陷檢測。

醫(yī)療：植入物表面粗糙度、透明藥瓶壁厚測量。

5、選型參考

需求場景	推薦型號	核心參數(shù)
微小結(jié)構(gòu)高精度檢測	CHRocodile C（200μm探頭）	分辨率8nm，光斑3.4μm
高速3D輪廓掃描	CLS 2.0系列	36,000線/秒，1200點(diǎn)/線
多層膜厚度測量	CHRocodile 2 IT DW 500	1nm分辨率，支持參雜晶圓
工業(yè)在線多點(diǎn)檢測	MPS 96	96通道同步，2,000點(diǎn)/秒

九、STIL司帝（進(jìn)口品牌，被Marposs收購了）Marposs成立于1952年，總部位于意大利博洛尼亞，是全球工業(yè)測量與檢測技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。自成立以來，Marposs始終專注于為制造業(yè)提供創(chuàng)新的質(zhì)量控制解決方案，覆蓋從機(jī)床測頭到自動化檢測系統(tǒng)的全鏈條技術(shù)。

核心特點(diǎn)：

高精度傳感器：采用納米級靈敏度傳感器，可檢測微米級誤差，滿足航空航天、醫(yī)療器械等高精度制造需求。

環(huán)境適應(yīng)性：具備抗高溫、抗油污和抗電磁干擾能力，適用于復(fù)雜工業(yè)環(huán)境。

無線傳輸技術(shù)：支持無線數(shù)據(jù)傳輸，無縫對接數(shù)控系統(tǒng)，減少布線干擾。

多系統(tǒng)兼容性：適配主流數(shù)控系統(tǒng)（如西門子、發(fā)那科、海德漢等），快速集成至生產(chǎn)線。

效率提升：通過自動化檢測減少人工干預(yù)，降低廢品率，提升生產(chǎn)效率20%以上。

典型應(yīng)用場景：

航空航天：渦輪葉片、發(fā)動機(jī)部件的精密加工。

汽車制造：變速箱、曲軸等關(guān)鍵零部件的高效檢測。

醫(yī)療器械：人工關(guān)節(jié)、手術(shù)器械的微米級精度控制。

十、LMI Technologies（線狀光譜共焦傳感器，進(jìn)口品牌）

LMI Technologies（全稱：Laser Measurement International）是一家專注于工業(yè)3D掃描與檢測技術(shù)的全球領(lǐng)先企業(yè)，總部位于加拿大溫哥華。公司致力于為智能制造、自動化質(zhì)量控制等領(lǐng)域提供高性能的3D視覺解決方案，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車制造、消費(fèi)電子、食品包裝、半導(dǎo)體、新能源電池等行業(yè)。

核心優(yōu)勢與技術(shù)特點(diǎn)：

智能傳感器技術(shù)：LMI主打FactorySmart?技術(shù)平臺，將傳感器硬件與智能軟件結(jié)合，實(shí)現(xiàn)實(shí)時3D數(shù)據(jù)采集、分析和決策。

非接觸式高精度檢測：產(chǎn)品支持微米級精度測量，適用于復(fù)雜表面、透明/反光材質(zhì)等傳統(tǒng)傳感器難以處理的場景。

工業(yè)4.0集成：支持與機(jī)器人、PLC系統(tǒng)無縫對接，助力自動化產(chǎn)線升級。

多行業(yè)覆蓋：在汽車零部件檢測、電池極片測量、食品包裝密封性驗(yàn)證等領(lǐng)域擁有成熟案例。

Gocator 5500系列智能線光譜共焦傳感器

（基于鏈接內(nèi)容及技術(shù)背景補(bǔ)充）

技術(shù)原理

線光譜共焦傳感器（Line Confocal Sensor）采用線掃描共焦成像技術(shù)，結(jié)合光譜分析實(shí)現(xiàn)高精度3D測量。其核心特點(diǎn)是通過特殊光學(xué)系統(tǒng)將白光分解為不同波長的光譜，僅聚焦于特定波長的反射光，從而精確計算物體表面的高度信息。

Gocator 5500系列亮點(diǎn)

超高性能

分辨率：亞微米級（<1μm）的縱向（Z軸）精度，橫向（XY）分辨率達(dá)微米級。

高速掃描：支持每秒數(shù)千次測量，適用于高速產(chǎn)線檢測。

大視野覆蓋：單次掃描寬度可達(dá)數(shù)十毫米，減少運(yùn)動機(jī)構(gòu)需求。

復(fù)雜材質(zhì)適應(yīng)性

可測量高反光（如金屬）、透明（如玻璃）、多層結(jié)構(gòu)（如薄膜）等傳統(tǒng)激光或結(jié)構(gòu)光難以處理的材質(zhì)。

智能集成設(shè)計

內(nèi)置算法：集成3D點(diǎn)云處理、幾何參數(shù)計算、缺陷檢測等功能，無需額外工控機(jī)。

易用性：提供可視化編程界面（如Gocator Web界面），支持快速部署。

工業(yè)級可靠性

IP67防護(hù)等級，適應(yīng)惡劣工業(yè)環(huán)境。

支持多傳感器同步，滿足大尺寸物體檢測需求。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體：晶圓表面缺陷檢測、焊線高度測量。

消費(fèi)電子：屏幕玻璃厚度、攝像頭模組平整度檢測。

新能源電池：電極涂層均勻性、極片對齊度驗(yàn)證。

精密加工：微型零件尺寸、螺紋/齒輪輪廓測量。

審核編輯 黃宇