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光模塊芯片(COC/COB)切割采用國產(chǎn)精密劃片機的技術(shù)能力與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用

博捷芯半導(dǎo)體 ? 2025-04-28 17:07 ? 次閱讀
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國產(chǎn)精密劃片機在光模塊芯片(COC/COB)切割領(lǐng)域已實現(xiàn)多項技術(shù)突破,并在實際生產(chǎn)中展現(xiàn)出以下核心能力與技術(shù)優(yōu)勢:

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一、技術(shù)性能與工藝創(chuàng)新

?高精度切割?

國產(chǎn)設(shè)備通過微米級無膜切割技術(shù)實現(xiàn)?1μm切割精度?,定位精度達?0.0001mm?,滿足光模塊芯片對切割深度和邊緣平整度的嚴苛要求,尤其適用于Mini/Micro LED的MIP全自動切割場景?。

激光切割技術(shù)可避免對晶體硅表面損傷,適用于厚度低于30μm的晶圓切割?。

?全自動化生產(chǎn)?

通過全自動上下料系統(tǒng)、AGV物料傳輸和雙主軸同步切割設(shè)計,生產(chǎn)效率提升?400%?,支持24小時無人值守連續(xù)生產(chǎn),大幅縮短封裝周期?。

?材料兼容性擴展?

設(shè)備可穩(wěn)定加工硅基芯片、砷化鎵、碳化硅陶瓷、光學(xué)玻璃等多種材料,支持復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)切割(如IGBT模塊的陶瓷基板散熱層),確保無崩邊、無熱損傷?。

二、光模塊芯片切割典型應(yīng)用

?COB工藝無縫拼接?

采用MIP工藝邊切割技術(shù),實現(xiàn)Mini LED背光模組的無縫拼接,成為COB封裝的核心設(shè)備?。

?光纖耦合器與光隔離器加工?

通過納米級端面切割技術(shù),將光纖端面平整度控制在納米級,耦合損耗降至?0.1dB以下?,保障光信號傳輸效率;同時支持光隔離器單向傳輸部件的精密切割?。

?陶瓷基板與磁光材料處理?

針對氧化鋁陶瓷基板(LED芯片)和鈮酸鋰等磁光材料,通過轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)與冷卻系統(tǒng)優(yōu)化,實現(xiàn)無應(yīng)力切割,避免晶體結(jié)構(gòu)損傷?。

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三、代表機型與性能

?BJX8160系列?

集成視覺對位系統(tǒng)和AI算法,良品率提升至?99.5%?,兼容12英寸大晶圓切割,打破國外技術(shù)壟斷?。

?BJX6366全自動雙軸劃片機?

配置雙主軸和NCS顯微鏡,支持晶圓裝片、對準、切割、清洗全流程自動化,適配硅、石英、藍寶石等材料,滿足光模塊芯片復(fù)雜圖形切割需求?。

?BJX3352型精密劃片機?

采用高剛性龍門式結(jié)構(gòu),支持12英寸晶圓切割,定位精度達?2μm全行程?,適用于硅光模塊(如800G高速光芯片)的精密加工?。

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