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華力二期12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線項(xiàng)目已建成投片 比預(yù)期提前2個(gè)月

半導(dǎo)體動(dòng)態(tài) ? 來源:網(wǎng)絡(luò)整理 ? 作者:工程師吳畏 ? 2018-10-19 15:40 ? 次閱讀

繼5月21日首臺(tái)***移入后,華力二期12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線(華虹六廠)再次迎來重大進(jìn)展。

10月18日,華力二期12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線項(xiàng)目在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)區(qū)建成投片,首批12英寸硅片也正式進(jìn)入工藝機(jī)臺(tái),開始28納米芯片產(chǎn)品制造。這比原先預(yù)計(jì)于2018年12月底首批試流片的工期時(shí)間提前了2個(gè)月。

資料顯示,華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線總投資387億元人民幣,項(xiàng)目初期將形成1萬片的生產(chǎn)能力,未來將逐步爬坡到4萬片月產(chǎn)能12英寸集成電路芯片,工藝從28納米起步,最終具備14納米三維工藝的高性能芯片生產(chǎn)能力。

根據(jù)規(guī)劃,該項(xiàng)目計(jì)劃于2022年底達(dá)到產(chǎn)能目標(biāo),項(xiàng)目主要從事邏輯芯片生產(chǎn),重點(diǎn)服務(wù)國內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)先進(jìn)芯片的制造。芯片產(chǎn)品將覆蓋移動(dòng)通信物聯(lián)網(wǎng)、智能家居云計(jì)算、CPU以及人工智能等各領(lǐng)域應(yīng)用,進(jìn)一步滿足國內(nèi)市場對中高端芯片產(chǎn)品的需求。

據(jù)悉,華力二期生產(chǎn)線項(xiàng)目不僅是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一,還被列入了國家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》。

此外,該項(xiàng)目還創(chuàng)造了國內(nèi)晶圓制造項(xiàng)目多項(xiàng)紀(jì)錄,根據(jù)華虹集團(tuán)資料顯示,該線是目前國內(nèi)工藝最先進(jìn)的大規(guī)模生產(chǎn)線,是目前國內(nèi)單體凈化廠房面積最大的代工生產(chǎn)線,是國內(nèi)同期在建的12英寸生產(chǎn)線中建設(shè)速度最快的項(xiàng)目,同時(shí)也是國家“910”工程規(guī)劃布局中最早投產(chǎn)的重點(diǎn)生產(chǎn)線。

目前,世界集成電路生產(chǎn)水平最高已達(dá)到7納米,主流生產(chǎn)線的技術(shù)水平為28—14納米。

而縱觀國內(nèi)的晶圓代工市場,僅有中芯國際擁有28納米制程產(chǎn)品投片,但根據(jù)2018年第1季的財(cái)報(bào)數(shù)字顯示,中芯國際28納米占其營收不過3.2%。如今,華力二期生產(chǎn)線項(xiàng)目正式投片,對國內(nèi)集成電路工藝技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)規(guī)模的擴(kuò)大具有重要意義。

該項(xiàng)目建成后,華虹集團(tuán)的集成電路制造能力將覆蓋0.5微米-14納米各工藝技術(shù)平臺(tái),制造規(guī)模進(jìn)入全球前五位,工藝技術(shù)進(jìn)入全球第一梯隊(duì)。華虹集團(tuán)董事長張素心在投產(chǎn)大會(huì)上表示,公司目前28納米工藝產(chǎn)品良率達(dá)到93-98%,2020年華虹將具備14納米FinFET產(chǎn)品生產(chǎn)能力,基本上滿足國內(nèi)中高端芯片需求。

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