中國AMOLED產(chǎn)業(yè)投資近幾年達到高潮,根據(jù)CINNOResearch數(shù)據(jù)統(tǒng)計,目前中國大陸共有17條AMOLED產(chǎn)線, 投資金額在未來三年均維持在1000億人民幣左右的規(guī)模。
在AMOLED生產(chǎn)線投資中,設(shè)備投資部分占比高達80%以上,但其中90%以上均被韓日等海外設(shè)備廠占據(jù),國產(chǎn)設(shè)備僅僅在非核心的自動化和檢測設(shè)備方面占據(jù)部分份額。核心設(shè)備國產(chǎn)化率低這個問題嚴(yán)重制約了我們從顯示制造大國向顯示制造強國的產(chǎn)業(yè)升級之路。
根據(jù)CINNOResearch數(shù)據(jù),目前國產(chǎn)設(shè)備在自動化和檢測領(lǐng)域的滲透率達到18%左右,已經(jīng)可以和國外先進制造商平等競爭,但在成膜技術(shù)(PVD,CVD,Evaporator)和曝光技術(shù)等方面,我們和國外存在較大的技術(shù)差距,短期難以追趕突破。而在濕制程這個領(lǐng)域,目前國產(chǎn)化滲透率在3%左右,這將是未來國產(chǎn)設(shè)備最有望實現(xiàn)突破的核心設(shè)備領(lǐng)域。
在面板制造工藝中,濕制程設(shè)備即使用水,洗劑或化學(xué)品等液態(tài)物質(zhì)對玻璃基板進行加工的工藝設(shè)備,包含玻璃基板清洗設(shè)備(Cleaner),光阻涂布顯影設(shè)備(Coater&Develop),濕法刻蝕設(shè)備(Wet Etching)和光阻剝離設(shè)備(Stripper)。目前這部分設(shè)備暫時被韓日設(shè)備商壟斷。
在中國廠商中,晶洲裝備成功取得國內(nèi)某AMOLED面板廠G6濕法刻蝕設(shè)備和光阻剝離設(shè)備訂單,并于2018年初順利出貨,實現(xiàn)了國產(chǎn)設(shè)備在濕制程領(lǐng)域的突破。根據(jù)我們掌握的信息,目前該設(shè)備作為關(guān)鍵工藝制程設(shè)備已在客戶量產(chǎn)線正常運行使用。
晶洲裝備在濕制程設(shè)備領(lǐng)域不斷進取突破,不但獲得了來自客戶的認可,并得到政府和社會的肯定。近日再次傳來喜訊,蘇州晶洲裝備科技有限公司G6 AMOLED濕法刻蝕機成功入選2018年江蘇省“首臺套”重大裝備產(chǎn)品,填補國內(nèi)空白的同時,打破了國外進口設(shè)備的壟斷局面,并且在結(jié)構(gòu)設(shè)計、功能實現(xiàn)上與進口設(shè)備媲美。
晶洲裝備自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)的“G6 AMOLED 濕法刻蝕機”,主要應(yīng)用于G6 AMOLED平板顯示制程的陣列(Array)段,其原理是利用化學(xué)的方法對經(jīng)過曝光與顯影后的基板表面金屬膜層進行均勻刻蝕,進而形成光刻定義的電路圖,是刻蝕工藝的核心載體設(shè)備。晶洲裝備率先研制了極紫外表面改性系統(tǒng)、刻蝕藥液溶度控制系統(tǒng)、高速藥液置換系統(tǒng)等,并將其應(yīng)用于“G6 AMOLED 濕法刻蝕機”,實現(xiàn)刻蝕過程的高度均勻性及穩(wěn)定性。該項目共形成知識產(chǎn)權(quán)21項,其中,獲得授權(quán)發(fā)明專利2項,實用新型專利13項,同時,作為首臺套重大裝備,江蘇省政府進行保費補貼扶持,為首臺套重大裝備的穩(wěn)定運行與操作安全保駕護航,保險裝備出現(xiàn)零部件、元器件損壞或失效、修理、更換、退貨,并由此引起的鑒定費用、運輸費用、交通費用以及保險裝備出現(xiàn)的責(zé)任范圍內(nèi)事故造成第三者責(zé)任等皆有保險公司賠付。
中國作為全球最大的消費電子市場,在一些核心技術(shù)和設(shè)備上無法突破,屢屢受制于人。在平板顯示領(lǐng)域,由于國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展晚于日韓企業(yè),國外的技術(shù)壟斷與封鎖等原因,造成該領(lǐng)域的前、中段生產(chǎn)設(shè)備主要仍由國外企業(yè)壟斷。此次晶洲裝備AMOLED濕法刻蝕機首臺套重大裝備的成功認定,是平板顯示領(lǐng)域濕法裝備國產(chǎn)化的新高度,同時也體現(xiàn)晶洲裝備努力奮進,繼續(xù)前行的決心。
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原文標(biāo)題:晶洲裝備 | 國產(chǎn)核心設(shè)備砥礪前行!G6 AMOLED濕法刻蝕機”通過江蘇省首臺(套)重大裝備認證
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